淺談電子廠房設計要注意的幾個方面

1、總體布局與功能分區

1）選址與規劃

需遠離交通干道、鐵路等振動源，地質勘察應避開軟弱土層，同時通過功能分區隔離振動源。將精密生產區與空調機房、物流通道等分離，減少振動傳遞。

2）流線控制

遵循“人流物流單向流動”原則，人員需經“更衣→淋浴→風淋（≥30秒）”三級凈化，物料通過帶紫外消毒的傳遞窗進入，不同潔凈等級區域設置獨立通道。

3）梯度布局

高潔凈區（百級/千級）置于車間內側，低潔凈區（萬級/十萬級）靠近外圍，通過緩沖間維持5Pa壓差梯度，防止交叉污染。

2、潔凈度控制

電子產品的制造要求具有很高的潔凈度，因此潔凈度控制是電子廠房設計的重要環節。設計時應根據生產工藝和產品要求，確定合理的潔凈度等級，并選擇合適的空氣過濾器。此外，潔凈度的控制還體現在人流、物流的凈化措施上，如設置風淋室、潔凈走廊等。

3、環境控制核心系統

1）空氣凈化與溫濕度

百級區采用垂直/水平層流（風速0.3-0.5m/s），萬級區采用亂流，換氣次數≥15次/小時，均需配備HEPA/ULPA高效過濾器。

溫濕度控制精度需達22±2℃、45%±5%，既滿足設備運行需求，又通過濕度調節減少靜電產生。

2）微振控制

結構層面采用樁基/筏板基礎、浮筑樓板，必要時設置隔振溝；設備層面選用低振動機型，搭配空氣彈簧隔振器等裝置。

精密設備（如光刻機）需遠離空調機組，管道采用柔性連接減少振動傳遞。

3）防靜電與接地

地面、工作臺鋪設防靜電材料（電阻值10?-101?Ω），人員佩戴防靜電腕帶，設備接地電阻≤1Ω。

禁止使用化纖制品，通過濕度維持（45%-60%）抑制靜電積累。

4、配套系統設計規范

1）建筑與材料

墻面用不銹鋼板或環氧樹脂涂層，地面做圓弧接縫（R≥50mm），吊頂采用密封式金屬彩鋼板，門窗均需氣密設計。

2）氣體與純水供應

高純氣體管道采用不銹鋼管，焊接連接避免“盲管”，終端設高效過濾器。

純水系統需靠近用水點，管道材質與處理工藝匹配水質等級，防止二次污染。

3）消防設計

采用無鹵阻燃材料，潔凈區優先使用氣體滅火系統，安全通道寬度≥1.5m，應急照明不影響氣流組織。

5、安全系統設計

電子廠房的安全系統設計應包括消防系統、安全疏散系統、環保系統等。應根據廠房特點和產品特性，設置相應的消防設施和疏散通道，確保在火災等緊急情況下員工的生命安全。此外，還應設置環保設施，如廢水處理系統、廢棄物處理系統等，以減少對環境的影響。

6、環境保護

電子廠房的設計應充分考慮環境保護，盡可能減少能源消耗和環境污染。應選擇環保建筑材料和設備，采用節能技術和綠色生產工藝，減少廢棄物的產生和處理。同時，應設置相應的環保設施，如廢水處理系統、廢氣處理系統等，以減少對環境的影響。