中國(guó)研究員：中國(guó)人不是做不出光刻機(jī)，我們?cè)?jīng)與世界并肩，只是中斷了太久

當(dāng)下，我們?yōu)榱恕靶酒灾鳌甭耦^苦干，為一臺(tái)光刻機(jī)、一塊核心材料拼盡全力。但如果你把時(shí)間撥回半個(gè)多世紀(jì)，你會(huì)驚訝地發(fā)現(xiàn)——曾經(jīng)，我們不僅不是從零起步，甚至曾經(jīng)與世界各國(guó)并肩同行，差一點(diǎn)全球半導(dǎo)體格局改寫就要因我們而改寫。

PART.01

山溝里跑出的全球第一梯隊(duì)

20世紀(jì)60年代，當(dāng)世界光刻技術(shù)尚在萌芽，歐美工程師還在試驗(yàn)臺(tái)前反復(fù)摸索時(shí)，中國(guó)科研人員在簡(jiǎn)陋的院落里點(diǎn)亮了屬于東方的微光——中國(guó)第一臺(tái) 65 型接觸式光刻機(jī)成功誕生。

沒有無塵車間，科研人員就在普通房間里用“土法設(shè)備”反復(fù)試錯(cuò)；沒有進(jìn)口材料，他們硬是把能改的都改了，把能造的都造了。

十年后，理論體系也建立了：《光刻掩模版的制造》正式出版，標(biāo)志著中國(guó)不僅能造設(shè)備，還能講工藝、寫教材、帶團(tuán)隊(duì)。

當(dāng)時(shí)的時(shí)代坐標(biāo)更讓人唏噓：日本半導(dǎo)體才剛剛邁步。韓國(guó)與中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)尚未起勢(shì)。ASML？那還是1984年的事情。中國(guó)光刻技術(shù)，卻已站在世界第一梯隊(duì)的起跑線上。

這不是夸張，而是中國(guó)科技史上被忽略太久的真實(shí)。

PART.02

三線奇跡

如果說科研院所點(diǎn)燃了火種，那么三線企業(yè)就是扛著火種逆風(fēng)奔跑的人。1969年的寶雞，一場(chǎng)科技大事業(yè)悄然成形。上海、南京的精英技術(shù)力量匯入4503廠，新的國(guó)營(yíng)建光機(jī)器廠成為國(guó)家17個(gè)重點(diǎn)軍工項(xiàng)目之一。

隨后的幾年里，這家廠創(chuàng)造了中國(guó)光刻史上的“黃金時(shí)刻”：中國(guó)第一代接觸式光刻機(jī)研制成功、迅速迭代到第三代、水平與國(guó)際只差約10年，遠(yuǎn)遠(yuǎn)領(lǐng)先于后來才成立的ASML、為1975年衛(wèi)星芯片、離子注入實(shí)驗(yàn)等國(guó)家重大任務(wù)提供關(guān)鍵設(shè)備、研制的陶瓷封裝邏輯電路達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

當(dāng)時(shí)大家都在摸索，而中國(guó)卻已經(jīng)有了完整設(shè)備與工藝鏈。

在裝備落后、工具簡(jiǎn)陋的時(shí)代背景下，能干出這樣的事兒，靠的不是“奇跡”，是那代人的倔勁與信念。

1968年的商縣李家塬村，一群來自北京、上海、沈陽的科技人員推開山門，在深山里點(diǎn)燃新中國(guó)電子工業(yè)的一堆火。他們生產(chǎn)硅橋整流器、邏輯芯片，其中不少用于衛(wèi)星控制系統(tǒng)。沒有補(bǔ)貼，沒有待遇，沒有環(huán)境，只有一句樸素的信念——“外國(guó)人能做的，中國(guó)人也必須做到。”

這，就是中國(guó)光刻技術(shù)最硬、最亮的底色。

PART.03

曾經(jīng)的痛

進(jìn)入70年代后，中國(guó)科研進(jìn)入“春天”。但對(duì)光刻產(chǎn)業(yè)來說，這場(chǎng)春天卻伴隨著毀滅性的寒潮。“造不如買，買不如租”成為流行口號(hào)，大量長(zhǎng)期戰(zhàn)略項(xiàng)目被粗暴叫停。

你一定知道這些名字： 運(yùn)十大飛機(jī)、直8通用直升機(jī)、長(zhǎng)城、曙光計(jì)算機(jī)、戰(zhàn)略裝備與尖端項(xiàng)目……而被牽連的，還有——中國(guó)光刻機(jī)，正要突破瓶頸的關(guān)鍵時(shí)刻。

建光機(jī)器廠作為國(guó)字號(hào)龍頭：研發(fā)經(jīng)費(fèi)被突然切斷、項(xiàng)目被下馬、技術(shù)團(tuán)隊(duì)被迫轉(zhuǎn)產(chǎn)民品、真材實(shí)料做民品，反而被劣質(zhì)競(jìng)爭(zhēng)擠垮、技術(shù)骨干大量流失、積累20年的光刻工藝鏈在數(shù)年間轟然塌陷。

清華大學(xué)1980年研制成功的第四代分步投影式光刻機(jī)（3微米），本應(yīng)是中國(guó)進(jìn)入世界主流技術(shù)門檻的敲門磚。那是中國(guó)光刻邁向國(guó)際舞臺(tái)的最后一步——也是最痛的一步。只差再堅(jiān)持幾年，中國(guó)極可能成為全球光刻機(jī)前列，與ASML一起成為行業(yè)制定者。

但歷史沒給機(jī)會(huì)。

PART.04

曾經(jīng)的痛

今天，很多人都見過那張照片——廢鐵堆里靜臥著一臺(tái)破損的光刻機(jī)機(jī)頭。那不是冷冰冰的設(shè)備，而是一代人的青春、信念與未竟之志。它像是對(duì)后人無聲的提醒：技術(shù)買不來、路也替代不了、軍工體系的堅(jiān)守不能隨便斷、關(guān)鍵時(shí)刻的“臨門一腳”更不能被時(shí)代誤傷。更重要的是——中國(guó)人不是做不出光刻機(jī)，我們只是中斷了太久。

今天，中國(guó)正在向光刻機(jī)最核心的技術(shù)壁壘發(fā)起沖鋒：上海、深圳、北京的研發(fā)團(tuán)隊(duì)再次集結(jié)、高能物理、精密制造、材料產(chǎn)業(yè)全面重建、各類國(guó)產(chǎn)設(shè)備從零突破到局部可用、關(guān)鍵元件逐個(gè)被啃下來、中國(guó)的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈正在重新“生長(zhǎng)肌肉”。

這一切雖然艱難，卻并不陌生。因?yàn)樵诎雮€(gè)世紀(jì)前的山溝里，中國(guó)人就已經(jīng)證明過自己能行。我們并不是從黑暗中摸索前行，而是——在重新拾回被忽視的火種。三線人的倔勁、韌性、孤勇與熱血，早就沉入中國(guó)科技工業(yè)的底層基因，成了今天“死磕光刻機(jī)”的最硬底氣。

當(dāng)下的中國(guó)光刻機(jī)團(tuán)隊(duì)，在重走一條被中斷的路。而這一次，我們不會(huì)、也不能再停下。

小小寰球，有幾個(gè)蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國(guó)，蚍蜉撼樹談何易。正西風(fēng)落葉下長(zhǎng)安，飛鳴鏑。

多少事，從來急；天地轉(zhuǎn)，光陰迫。一萬年太久，只爭(zhēng)朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風(fēng)雷激。要掃除一切害人蟲，全無敵。

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