光刻機巨頭開始慌了，中國造不成光刻機，但是要造一個光刻工廠！

這家荷蘭公司的日子可謂喜憂參半，財務報表上的數字異常亮眼，仿佛亞洲大陸市場成了其新的財富來源

但這份光鮮的報告無法掩蓋現實的嚴峻，自二零一九年起，美國的出口政策日趨嚴苛，直接指向了高端光刻設備，后續更是將荷蘭拉入統一戰線，逐步加大了限制力度

就在這樣的背景下，那家荷蘭公司的收入構成發生了戲劇性變化，二零二三年，來自亞洲大國的貢獻從過去的百分之十五，一路猛增到百分之四十六，到了二零二四年，這一高比例依然得以維持

這種反常的采購熱潮，背后是清晰的邏輯，采購越是瘋狂，就表明可供購買的時間窗口關閉得越快

亞洲大國方面非常清楚，只要限制措施沒有完全生效，就必須抓住機會盡可能多地購入設備，尤其是DUV浸潤式光刻設備，這些設備是支撐其全體成熟工藝的基石

先進工藝雖然短期內難以觸及，但成熟工藝卻是當前汽車、太陽能、電力裝備、自動化設備等產業的核心半導體來源，多囤積一臺就是多一分保障

正是這種“在限制完全生效前搶購”的心態，將那家荷蘭公司推向了一種不真實的興盛之中

公司高層并不感到輕松，前任首席執行官溫寧克在任時就曾表示，行政力量的過度干預，只會迫使這個大客戶自行培育出競爭者

新上任的首席執行官富凱面臨的局面更為復雜，銷售數據好得出奇，但他明白這都是在消耗未來的業務，因為隨著美國持續加碼，荷蘭方面從二零二三年起，已將NXT冒號二零零零i以上的機型列入許可范圍

到了二零二四年，二零五零i、二一零零i等主力型號也被禁止，甚至到了二零二五年，原本預計能夠幸免的一九七零i、一九八零i也可能面臨嚴格審查

公司內部估計，來自亞洲大國的業務將很快跌回百分之二十，甚至可能更低，更大的麻煩在于“服務與維修”這條生命線

人家換了條賽道自己玩

既然購買的道路終將受阻，亞洲大國的科研人員便另辟蹊徑，EUV光刻設備無法購得，反向工程又極其復雜，那就不再執著于此

另有一種思路是，將焦點從設備本身移開，轉而關注其核心的EUV光源，在小機箱內集成幾十千瓦的等離子體光源，是全球頂尖技術三十多年積累的結晶，短時間內在國內復刻這種小型化光源難度巨大

于是，科研人員們干脆繞過這一難題，既然小型化難以實現，那就不追求小型化，轉而建造一座“光源設施”，這便是清華大學主導的SSMB路徑，即穩態微聚束

這個方案把EUV光源做成類似發電站的大型基建設施，利用一條長達一公里的粒子加速環產生光，功率可達千瓦級別，甚至比那家荷蘭公司最先進的EUV設備還要強四倍以上

清華團隊二零一七年提出構想，二零二一年與德國團隊的實驗數據發表在《自然》上，二零二二年進入工程預研階段，自二零二三年起，國家層面開始推動項目選址，在雄安等地評估建設的可能性

西方正在押注限制有效，亞洲大國則在押注實現突破，這早已不是單一公司或設備的較量，而是整個產業體系的對抗

真正的目標不是僅僅獲得一枚最頂尖的電子元件，而在于構建一個穩定、完整且能自我支撐的工業體系，用以托舉整個國家的制造業基盤，當成熟的生產工藝越是牢固，整個工業體系就越穩固，而工業體系越是穩固，外部限制措施的影響力就越會減弱，

這給西方帶來了巨大的心理沖擊，富凱雖然聲稱“亞洲大國落后十到十五年”，但他也知道，半導體產業的競爭并非只看二納米、三納米的尖端技術

汽車、電力、工業控制、風能、太陽能、新能源車等行業所需要的，并非最尖端的工藝，而是二十八納米、四十五納米、六十五納米等成熟可靠的技術

限制越是嚴厲，亞洲大國就越是集中資源進行攻關，大基金三期一次性投入二百八十八億用于材料領域，各省也加大扶持力度，蘇州、上海、無錫、合肥、杭州等地，超過兩千家企業正在全力以赴填補空白

除了主流技術路徑，還有一些團隊在嘗試其他突破口，浙江的電子束直寫設備已經能夠用于八納米級別的小批量研發樣品制備，杭州的企業則在納米壓印技術上尋求機會

當中長期方案在推進時，眼前的需求也必須滿足，SMEE的二十八納米設備已進入試產前的最后階段，國產光刻膠正向高端市場邁進，KrF已能覆蓋七納米工藝，清華的新型EUV光刻膠在靈敏度上取得進展，恒坤、南大光電等企業也在加速擴大產能

當微型集成電路的制造競賽，被硬生生拉回到宏觀工程建設的領域時，這場角逐中誰更具備優勢，答案似乎也就不那么難判斷了