中國造不出光刻機？中科大副院長曾言，美國造不出，中國永不可能

現在誰都離不開芯片，人工智能、大數據這些熱門領域，全靠高性能芯片撐著場子。這些年新興產業蹭蹭往上竄，對高端芯片的需求那是水漲船高。中國的芯片來源主要靠國外買進來，進口渠道占了大頭。

可西方國家一搞出口管制，高端貨就進不來了，這下子逼得咱們得自力更生。科研隊伍沒少下功夫，好些技術難題一個個被啃下來，在芯片設計和部分制造上，成績還挺亮眼的。只是到了生產高端芯片的關鍵環節，光刻機這兒卡住了，成了最大難題。

全球頂尖的光刻機基本出自荷蘭阿斯麥，中國半導體企業得花大價錢從他們那兒買設備。早些年，對光刻機沒那么急迫，主要靠進口維持生產線。

隨著中國半導體產業飛速發展，美國那邊開始盯上咱們，先是限芯片出口，接著還施壓光刻機供應商，不讓某些型號賣給中國，甚至已賣出的設備維修也受限。

雖然有些供應商沒完全聽美國的，但風險擺在那，手里有家伙事用不上，跟啥都沒有差不多。中國科研人員意識到，自研光刻機是必須走的路。經過幾年摸索，一些好消息傳出來。可就在大家有點小興奮的時候，一位國內專家的說法澆了盆涼水。

2021年2月，中國科學技術大學研究生院副院長、物理學教授朱士堯在采訪中直言不諱，說中國獨立造出光刻機不可能，甚至用了“永遠造不出來”這種重話。

這話一出，網上炸了鍋，因為他不是外行人，在物理領域有建樹，出版過好幾本專業書，推動過不少科技項目。

光刻機原理說白了就是用光在晶圓上刻圖案，但實際操作復雜到極致，涉及數學、光學、流體力學、高分子物理化學、表面物理化學、精密儀器、機械、自動化、軟件、圖像識別等一大堆頂尖領域。

制造一臺頂尖光刻機，需要納米級精度，任何小偏差都可能前功盡棄。朱士堯指出，不光中國，美國要是脫離國際合作，也辦不成?，F在的光刻機是全球多個國家專利和技術拼起來的大雜燴。

國外企業有時陰陽怪氣，說給圖紙中國也造不出，但國內總用實際行動打臉?？芍焓繄蜃鳛閮刃腥?，這話分量重，他強調光刻機是人類半導體工業的皇冠明珠，最精密最復雜的機器。

核心部件光源用13.5納米極紫外光，得高功率激光轟擊直徑三千萬分之一米的錫球。光學系統只有德國蔡司能做，EUV機上全用他們鏡頭。工作臺有5.5萬個高精度零件，來自日本、韓國、美國、德國、荷蘭等多國技術。

阿斯麥CEO在2022年1月也說過，中國不太可能獨立造出頂尖光刻機，但沒說死，留了點余地。朱士堯的說法其實在提醒大家，光刻機不是靠一腔熱血就能成的，得面對現實。

全球分工這么細，專利壁壘高筑，單干風險大。光刻機研發需要海量資金和人才，周期長，失敗率高。中國雖有進步，但距離頂尖還有差距。

中國沒被難住，2017年，長春光學精密機械與物理研究所牽頭“極紫外光刻關鍵技術”項目通過驗收，這是個重要里程碑。2020年，中科院光電研究院交付國產40W 4KHz ArF光源，推動光刻機研究往前走。

上海微電子裝備公司（SMEE）在28nm光刻機上取得突破，2023年報道顯示，他們的設備已進入中芯國際測試。2024年，美國繼續施壓盟國，強化對華芯片管制，但荷蘭和日本企業有反對聲音，擔心影響生意。

光刻機自研不是一蹴而就，羅馬不是一天建成的。中國從低端起步，逐步攻克中高端。國際環境復雜，美國禁令頻出，但中國轉向多邊合作，與歐洲和亞洲國家交流技術。阿斯麥雖壟斷，但中國企業如華卓精科在鏡頭和光源上發力。

未來，中國光刻機有望在2030年前實現完全自主，打破壟斷?？蒲腥藛T沒少加班，成果一個接一個。光刻機難題考驗耐心和智慧，中國有底氣。雖有差距，但追趕速度快。

專家當初的話，現在看是鞭策，推動更深層創新。半導體產業關乎國家安全，中國不會止步。自研道路雖曲折，但前景光明。光刻機突破將帶動整個產業鏈升級，惠及全球。中國立場堅定，自主可控是目標。路還長，但一步步走穩了。