熱門賽道 | PVD（物理氣相沉積），半導體關鍵前道工藝

行業定義

PVD（物理氣相沉積）是一種用于在物體表面沉積薄膜的技術，通過將材料蒸發并在真空環境中沉積到基材表面來實現涂層。PVD技術廣泛應用于電子、光學、醫療器械和工具制造等領域。常見的PVD工藝包括蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍膜等。PVD技術的主要優勢包括高硬度、耐磨性、抗腐蝕性，并且在涂層的顏色、厚度和均勻性方面具有很好的可控性。

從政策環境的角度來看，我國對PVD設備高度重視，主要體現在支持半導體設備發展的相關政策上。例如，在《“十三五”國家科技創新規劃》中，薄膜設備（如PVD設備、CVD設備等）被列為國家重點攻關的高端制造裝備；同時，在《國家高新技術產業開發區“十三五”規劃》中也明確提出，要推動集成電路關鍵裝備的核心技術突破與應用。

PVD設備市場主要得益于光電子行業的迅速發展。隨著顯示技術的持續創新，如有機發光二極管（OLED）和柔性顯示技術的進步，對高質量、高性能光學薄膜的需求不斷上升，推動了PVD設備市場的擴展。此外，半導體行業對PVD設備的需求也在不斷增長，因為PVD設備能夠用于制備金屬薄膜、氮化硅薄膜、硼化硅薄膜等關鍵材料，廣泛應用于集成電路的生產中。

PVD（物理氣相沉積）和 PVD 設備的產業鏈可以根據材料、設備制造和應用領域進行上、中、下游的細分。

上游產業鏈

原材料供應：上游產業主要包括 PVD 工藝所需的材料供應商，如金屬靶材（鈦、鉻、鋁等）、陶瓷靶材（氮化鈦、氧化鋁等）以及一些用于鍍膜過程中的氣體（如氮氣、氬氣、氫氣等）。

零部件供應：包括用于制造 PVD 設備的關鍵組件和材料，如真空泵、離子源、電源系統、氣體控制系統和靶材冷卻系統等。這些零部件的質量和性能直接影響 PVD 設備的效率和穩定性。

中游產業鏈

PVD 設備制造：中游產業鏈的核心是 PVD 設備的設計和制造商。它們負責組裝和生產用于不同應用領域的 PVD 設備。設備制造商根據不同的工藝要求，提供不同類型的設備（如蒸發鍍膜設備、濺射鍍膜設備、離子鍍設備等）。

設備集成與測試：在設備制造完成后，需要進行集成和調試，以確保設備達到性能要求，并能夠穩定運行。這包括真空系統的集成、控制系統的調試、鍍膜效果的測試等。

下游產業鏈

PVD 涂層和設備的下游應用領域非常廣泛，主要包括：

電子與半導體：用于制造晶圓、存儲器、顯示器、觸控屏等電子元器件的保護涂層。

工、模具制造：用于切削工具、模具等零部件表面的耐磨涂層，以提高其硬度和耐磨性。

裝飾和珠寶行業：用于各種金屬表面的裝飾涂層，提供多樣的顏色和耐久性，比如手表、眼鏡框、飾品等。

光學與光伏：用于光學透鏡、鏡片、光伏電池等產品的反射層或抗反射層。

醫療器械：在手術器械、植入物等設備上涂覆防腐蝕和抗菌涂層，以延長使用壽命并提高安全性。

服務支持

設備維護與售后服務：對于 PVD 設備制造商來說，售后服務是至關重要的一環，包括設備的安裝、維護、定期校準和故障維修等，以保證設備的長期穩定運行。

技術支持與培訓：PVD 設備和工藝往往需要專業技術支持，制造商通常提供操作培訓、工藝優化和咨詢等服務，以幫助下游用戶提升使用效率和工藝水平。

全球主要的PVD鍍膜機制造商包括Applied Materials、ULVAC、Optorun、Buhler Leybold Optics和Shincron等。全球前五名PVD鍍膜機制造商約占全球市場總數的74％。亞太地區是全球最大的PVD鍍膜機消費市場，約占66％，其次是歐洲和北美。PVD最初的研制主要用于制造人造衛星需要耐磨的零部件，隨著其處理技術不斷發展，PVD技術的應用范圍也開始不斷擴展。

目前我國正大力發展半導體、新一代信息產業、新材料、新能源、航天航空等產業，在此背景下真空鍍膜行業市場規模有望不斷擴大，行業發展前景廣闊。

睿獸分析整理近年來PVD相關公司的融資情況，近年來，隨著國家對半導體行業的逐步重視，PVD作為芯片行業的前道工序，熱度不減，并于去年達到事件數最多30起，融資額則是在22年達到近五年最高73.18億元。

相關企業

矩陣科技

深圳市矩陣多元科技有限公司成立于2016年12月，是一家專注于薄膜材料制備和高通量材料制備系統開發及應用的國家高新技術企業。公司主營設備包括科研型及生產型薄膜材料制備系統:脈沖激光沉積系統、磁控濺射系統、電子束蒸發系統、分子束外延系統、等離子體增強化學氣相沉積系統等。

傳統的有機材料基板和TSV技術目前面臨著制造成本高、工藝控制難度大、熱管理問題突出、高頻損耗大、集成密度相對較低等一系列難題。而玻璃基板和TGV有望解決這些挑戰，推動芯片設計和制造邁上新臺階。

矩陣多元科技目前專注于半導體先進封裝的薄膜沉積工藝，已掌握國際領先的磁控濺射PVD設備的關鍵技術，具備整機設計、生產和交付能力，并自主研發了濺射陰極系統、面板級封裝基片裝載系統等多項關鍵子系統。

公司推出的工業級量產設備DEP600（雙枚葉式先進封裝濺射PVD設備）用于扇出型面板級封裝的種子層金屬化，已經獲得了國內多家頂級半導體封裝廠商的訂單，成功打破了核心設備的國際壟斷。此外，基于DEP600平臺，矩陣多元科技已經完成了用于高深寬比玻璃通孔（TGV）種子層金屬化的PVD設備樣機的開發，并正在為多家潛在客戶進行打樣測試。

2024年9月，矩陣科技宣布完成億元B+輪融資，由中車資本、智慧互聯產業基金、前海母基金、國中資本、潤信新觀象產業基金和毅達資本聯合投資，融得資金主要用于新一代先進封裝PVD量產設備的研發、產能擴充以及補充流動資金等。

致真設備

合肥致真精密設備有限公司成立于2021年5月，是從事高精度物理氣相沉積設備及其關鍵組件研發和制造的高新技術企業。公司主營產品為國產高端科研級和產業級磁控濺射設備，同時為合作伙伴和客戶提供薄膜加工制造、工藝調試、設備軟件開發等服務。公司致力于提升高端薄膜沉積設備的自主可控水平，推進產學研深度融合，將先進的科研成果轉化為具有競爭力的產品，以解決集成電路行業卡脖子的關鍵設備和工藝難題。

目前致真設備已形成科研級薄膜制備系統、產業級薄膜制備系統、真空傳輸平臺、超高真空零配件四大產品系列，同時可根據客戶需求，開發如自旋、超導量子、MEMS等領域的薄膜工藝菜單。產品廣泛應用于芯片制造、新型顯示、量子信息、光波導、光伏產業、磁傳感器等領域。

據其公眾號公開信息，成立3年來目前人員已超50人，2023年銷售漲幅達10余倍。

2024年4月，致真設備獲得數千萬元天使輪投資，本輪融資由航天基金領投，合肥創新投資及國耀資本跟投。所募資金將主要用于產品技術研發、市場拓展及人才招募。

佑倫真空

蘇州佑倫真空設備科技有限公司成立于2016年12月，是一家專注半導體薄膜沉積裝備的開發和應用的企業，產品主要包括蒸發鍍膜機量產機型、真空燒結爐、大容量蒸發鍍膜機、小型試驗機、濺射機、精密加工業務、耗材業務等，廣泛應用于功率器件、LED、光通信、傳感器、半導體、濾波器等領域，為高端薄膜沉積領域、PVD薄膜沉積領域、氣自動化領域提供解決方案。

佑倫真空的主要業務是與PVD薄膜沉積相關的設備，廣泛應用于半導體、LED、濾波器等多個核心領域。業務范圍涵蓋高端定制型薄膜沉積設備、零部件供應、為行業提供設備耗材以及精密機械加工四大板塊，并已具備一定的成本優勢和核心技術自主掌控能力。目前，YOULUN佑倫真空已經與國內多家頂尖客戶建立了長期緊密的合作關系。同時，YOULUN佑倫真空正在研發和驗證濺射機，助力國產PVD薄膜沉積技術的快速發展。

國發創投消息顯示，佑倫真空產品應用覆蓋了半導體、光學、光伏、科研等多個領域，并逐漸導入士蘭微等多家行業頭部客戶。

2023年5月，佑倫真空獲蘇創投、國發創投及蘇州國發集團聯合投資，本輪融資將主要助力新產品研制、市場推廣和團隊建設等。

熱點訊息

2024年10月，光智科技擬購買PVD濺射靶材公司先導電科100%股份 股票復牌

光智科技(300489)10月13日晚間披露重大資產重組預案，公司擬通過發行股份及支付現金方式，購買先導稀材、中金佳泰、青島越馳、比亞迪、新疆特變等先導電子科技股份有限公司（簡稱“先導電科”）全體55名股東合計持有的先導電科100%股份，同時擬向不超35名特定投資者發行股票募集配套資金。標的公司致力于先進PVD濺射靶材和蒸鍍材料的研發、生產和銷售業務，同時也從事高純稀散金屬及化合物的回收提純、制備和銷售業務。

2024年10月，連云港開發區：光伏產業鏈首臺PVD濺射鍍膜設備成功下線

近日，位于連云港開發區的江蘇先導先進裝備科技有限公司生產制造的PVD（即物理氣相沉積）三腔體連續式濺射鍍膜設備成功交付。江蘇先導先進裝備科技有限公司相關負責人劉磊介紹，該設備是先導落戶連云港后交付的首臺光伏設備，其成功下線標志著先導科技成功打通從材料到設備全流程供應鏈，也意味著連云港光伏產業誕生了首臺套成品設備。PVD三腔體連續式濺射鍍膜設備研發有助于打通企業材料板塊和裝備制造板塊供應鏈體系，為中國光伏產業提供一體化解決方案。

2024年7月，給“中國屏”鍍上“亦莊膜”！全國首臺自研大面積鍍膜裝備成功簽約

7月11日，在北京景昇智鑫科技有限公司與湖南普照信息材料有限公司共同舉辦的中國首臺自主研發的大面積高品質掩模基板PVD鍍膜裝備簽約儀式上，北京經濟技術開發區企業北京景昇相關負責人表示。此次合作標志著我國在顯示面板關鍵設備領域取得了重要突破，對推動技術產業國產自主化發展具有深遠意義。

2021年06月，國內首款超大產能異質結專用PVD設備發布

21年6月3日，中國電子科技集團有限公司宣布，該集團旗下電科裝備成功發布國內首款超大產能異質結專用PVD（物理氣相沉積）設備。作為新一代高效異質結太陽能電池生產制造核心裝備，其將為我國實現“碳達峰”“碳中和”提供堅實的科技支撐。提效潛力高、降本空間大、工藝流程短等優勢，是光伏行業未來的優選方案。電科裝備此次推出的異質結專用PVD，突破了可調高磁場強度的旋轉陰極系統、大跨度直流脈沖控制系統等關鍵技術，具有靶材利用率高、成膜均勻性好、設備穩定性高的特點。

2019年12月，打破國外壟斷！上方自研G8.6代新型顯示PVD裝備進入生產狀態

據浙江在線報道，上方電子自主研發制造的中國首套國產半導體顯示核心裝備——8.6代新型顯示PVD（物理氣相沉積）設備，已于上半年順利交付該顯示屏生產企業，最近正式進入生產狀態。上方電子自研的PVD設備從5.5代升級到8.6代，設備的鍍膜面積增加了4倍多，涉及的零部件高達1.2萬個，需用到物理、機械、機電等六七門交叉學科，在攻克上萬個技術難點后，PVD設備實現了功能性納米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的連續生產，納米薄膜均勻性在5%以內，材料利用率超過80%，主要指標達到國際先進水平。