剛剛，廣東半導體“小巨人”過會！背靠設備大廠，擬募資14.69億

24款自研產品實現千萬級收入。

作者 |ZeR0

漠影

芯東西11月14日報道，剛剛，廣東深圳半導體設備核心零部件供應商恒運昌通過上市委會議審議，向科創板IPO又邁出關鍵一步。

恒運昌成立于2013年3月，是國產等離子體射頻電源系統行業龍頭企業、國內極少數實現半導體級等離子體射頻電源系統量產的企業，獲評國家專精特新重點“小巨人”企業。

等離子體射頻電源系統是半導體設備零部件國產化最難環節之一，是半導體制程工藝中薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠及鍵合等工藝控制的關鍵，直接決定設備工藝能力、產品良率。

根據弗若斯特沙利文統計，2024年，中國大陸半導體領域等離子體射頻電源系統的國產化率不足12%，恒運昌在國產等離子體射頻電源系統廠商中的市場份額位列第一

歷經十年，恒運昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產品系列等離子體射頻電源系統，成功打破了美系兩大巨頭MKS和AE在國內長達數十年的壟斷格局。其量產產品已達國際龍頭企業的次新一代同等技術水平，可以支持7-14nm制程。

在國內半導體領域，恒運昌是首家出貨過億元首家實現等離子體射頻電源系統（支持半導體先進制程）量產的國產廠商。

其產品系列不斷通過拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米等國內半導體設備頭部廠商的驗證并實現批量交付，并配套中芯國際、長江存儲等國內晶圓廠。

該公司最近一次市場化融資完成于2023年12月，投后估值為32.92億元

值得一提的是，國產薄膜沉積設備龍頭拓荊科技不僅是恒運昌的第一大客戶，也是其第七大股東，直接持股3.09%，同時拓荊科技全資子公司上海巖泉持股0.33%。

本次IPO，恒運昌擬使用募資投入金額14.69億元，投資于沈陽半導體射頻電源系統產業化建設項目、半導體與真空裝備核心零部件智能生產運營基地項目、研發與前沿技術創新中心項目、營銷及技術支持中心項目及補充流動資金。

01.

產品可支撐7-14nm先進制程，

達國際先進水平

等離子體射頻電源系統是半導體設備零部件國產化最難關卡之一，技術壁壘高、研發投入大、研發周期長、生產的“精確復制”要求極高，國產化率極低。

恒運昌主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務，并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

如果把芯片制造比喻成版畫藝術品的高科技復刻，那么產生及控制等離子體的等離子體射頻電源系統就是這場高科技復刻的“指揮家”。

等離子體射頻電源系統通過精確控制電流頻率和功率，指揮著半導體制造過程中的等離子體變化，確保在晶圓表面精確、均勻地沉積出薄膜層、精細地刻蝕出復雜圖形和去除光刻膠等。

由于具有獨特的光、熱、電物理特性以及高活性、高能量的特點，等離子體為半導體精密制造提供了不可替代的工藝基礎。

如今等離子體工藝廣泛應用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環節，并隨著先進封裝技術的發展應用于更多工藝環節中。

恒運昌聚焦于等離子體射頻電源系統的技術攻關，在2021年向中芯國際交付Bestda等離子體射頻電源，實現了國內首顆刻蝕設備用射頻電源的原位替換；2022年，其Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器在中芯國際晶圓產線上替代了CVD（化學氣相沉積）工藝設備中的海外等離子體射頻電源及匹配器產品。

2023年，其最新一代Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器已經隨拓荊科技新一代P系列薄膜沉積設備、中微公司新一代N系列刻蝕設備交付國內頭部晶圓廠，目前已進入晶圓生產的正式驗證。

恒運昌自主研發的第二代產品Bestda系列可支撐28nm制程，第三代產品Aspen系列可支撐7-14nm先進制程，達到國際先進水平，填補國內空白。

其核心技術包括兩方面：1）從測量、控制、架構三方面構建的底層通用的3大基石技術；2）基于3項基石技術，結合半導體設備中的應用，特別是先進制程中更快速、更精準、更穩定的應用訴求和實現難點，發展出8大產品化支撐技術。

截至2025年6月30日，恒運昌共有研發人員158名，占全部員工比例為42.13%。截至報告期末，該公司擁有已授權發明專利108項，在申請發明專利133項。

02.

去年收入為5.41億元，

凈利潤達1.42億元

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運昌營收分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元、3.04億元，凈利潤分別為0.26億元、0.80億元、1.42億元、0.69億元，研發費用分別為0.22億元、0.37億元、0.55億元、0.43億元。

▲2022年~2025年1-6月恒運昌營收、凈利潤、研發支出變化（芯東西制圖）

根據招股書，其2025年1-6月收入較上年同期上升而凈利潤下降，主要因為在2025年上半年加大研發投入。

自研產品占恒運昌整體收入的比例逐年增長，2025年上半年達到84.81%。

報告期各期，恒運昌三代等離子體射頻電源和匹配器銷售收入占比情況如下：

同期，該公司主營業務毛利率為41.49%、45.86%、48.51%、49.01%，與MKS較為接近。

截至2025年6月末，恒運昌在手訂單金額為1.07億元，較2024年末下滑22.13%。

03.

已量產交付國內頭部半導體設備商，

24款自研產品實現千萬級收入

報告期內，恒運昌產能已于最近三年及一期超負荷運行，產能利用率分別達到121.34%、102.12%、111.24%、106.35%。

其產品已量產交付拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米、盛美上海等國內頭部半導體設備商，并配套中芯國際、長江存儲等國內晶圓廠，成為薄膜沉積、刻蝕環節國內頭部設備商的戰略級供應商。

截至2025年6月30日，恒運昌與上述客戶已實現百萬級收入的自研產品共38款，實現千萬級收入的自研產品共24款

等離子體射頻電源系統作為半導體設備的核心零部件，需要得到設備商及晶圓廠的雙重認證，設備定型通過晶圓廠驗證后，不再輕易更換供應商；同時，半導體設備商為保證核心零部件的安全供應，選擇與頭部等離子體射頻電源系統供應商長期合作。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，前五大客戶產生的收入占恒運昌主營業務收入的比例分別為73.54%、80.39%、90.62%、89.37%，其中向第一大客戶拓荊科技的銷售收入占比分別為45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，客戶集中度較高。

恒運昌自2018年開始與國產薄膜沉積設備龍頭拓荊科技開展多款PECVD設備所需等離子體射頻電源系統的國產化開發及驗證工作，2020年獲得批量訂單，供貨規模逐步起量。報告期內，該公司已穩定批量供應拓荊科技PECVD設備，是拓荊科技2024年度第一大等離子體射頻電源系統供應商、前十大零部件供應商。

其2024 年對中微公司、北方華創、微導納米已實現收入4288.56萬元、2813.65萬元、2306.19萬元，相比2023年分別翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增長。

除已定型并批量供應的產品外，目前恒運昌正在為中微公司、微導納米、北方華創、盛美上海的多種機型開發多款等離子體射頻電源及匹配器，并且為中芯國際等晶圓廠開發多款原位替換等離子體射頻電源及匹配器。

2025年1-6月，該公司進一步拓展新客戶，實現對屹唐股份、思銳智能、無錫邑文等細分領域頭部客戶的銷售收入突破，客戶結構持續多元化。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運昌前五名供應商采購金額占比分別為64.13%、60.18%、58.33%、60.01%。其引進日本供應商S的真空泵產品，為下游客戶提供半導體及其他工業真空裝備的核心零部件整體解決方案，因此各期采購金額較高。

04.

拓荊科技是第七大股東，

多位核心技術人員有AE背景

恒運昌的注冊資本為5077萬元，法定代表人、實際控制人是其董事長、總經理樂衛平，控股股東為深圳市恒運昌投資有限公司，擁有3家全資子公司，無參股公司。

拓荊科技是其第七大股東，直接持股3.09%。拓荊科技全資子公司上海巖泉持有恒運昌0.33%的股份。

本次發行前，樂衛平直接持有恒運昌23.0866%的股份表決權，并通過恒運昌投資、投資中心、投資發展中心分別間接控制恒運昌25.8179%、20.7787%、3.1895%的股份表決權，合計控制恒運昌72.8727%的股份表決權。

樂衛平出生于1973年，曾任職于湖南省桃源縣郵電局電信設備廠、 AE（深圳）、AE（上海），是恒運昌的核心技術人員之一。

其他多位核心技術人員均有AE任職背景，例如，研發總監林偉群曾任AE（深圳）高級工程師、AE（上海）深圳分公司高級工程師，職工董事、軟件研發經理姚志毅曾任AE（深圳）工程師、AE（上海）深圳分公司工程師。

恒運昌現任董事俞日明是樂衛平配偶的妹夫。除上述情形外，截至招股書簽署日，恒運昌現任董事、原監事、高級管理人員及其他核心人員之間不存在親屬關系。

2024年，恒運昌董事、監事、高級管理人員與核心技術人員從該公司領取薪酬的情況如下：

05.

結語：等離子體射頻電源系統

國產化勢在必行

等離子體射頻電源系統作為薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠和鍵合環節生產設備的核心零部件，是半導體制造中等離子體工藝控制的核心。受近年來的半導體產業鏈“卡脖子”的影響，我國半導體設備核心零部件的國產化和自給自足勢在必行。

當前，國產等離子體射頻電源系統與MKS、AE等國際企業仍有一定差距，產品尚未進入國際半導體市場，主要用于國產半導體設備商。

作為國內極少數實現量產半導體級等離子體射頻電源系統的企業，恒運昌填補了國產等離子體射頻電源系統在高端半導體設備上應用的空白，產品實現向國內領先的半導體設備廠商批量交付，并批量應用于國內新建晶圓廠中，對進口機臺的等離子體射頻電源原位替換或維修保障了國內晶圓產線的可持續生產，為國內半導體產業擺脫海外供應鏈依賴、解決“卡脖子”問題做出了貢獻。