特朗普政府出手，布局下一代光刻

本文由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID：ICVIEWS）綜合

特朗普政府已同意向初創(chuàng)公司xLight注資高達1.5億美元。

特朗普政府已同意向一家試圖在美國開發(fā)更先進半導(dǎo)體制造技術(shù)的初創(chuàng)公司注資高達1.5億美元，這是其通過政府激勵措施支持具有戰(zhàn)略意義的國內(nèi)產(chǎn)業(yè)的最新嘗試。

商務(wù)部在周一發(fā)布的一份新聞稿中表示，根據(jù)安排，該機構(gòu)將向xLight提供激勵措施，這是一家試圖改進極紫外光刻(EUV)的關(guān)鍵芯片制造工藝的初創(chuàng)公司。作為回報，政府將獲得股權(quán)，這可能使其成為xLight的最大股東。

荷蘭公司ASML目前是全球唯一的EUV光刻機生產(chǎn)商，每臺機器可能耗資數(shù)億美元。xLight正尋求改進EUV工藝中的一個組件：至關(guān)重要的激光器，它將復(fù)雜的微觀圖案蝕刻到經(jīng)過化學(xué)處理的硅晶圓上。這家初創(chuàng)公司希望將其光源集成到ASML的機器中。

xLight代表了帕特·基辛格的“第二幕”，他是英特爾前首席執(zhí)行官，在去年年底因該芯片制造商遭受疲軟的財務(wù)表現(xiàn)和停滯的制造業(yè)擴張而被董事會解雇。基辛格擔(dān)任xLight董事會的執(zhí)行主席。

“我還沒有結(jié)束，”基辛格在周一接受采訪時說。“這對我來說是非常私人的事情。”

許多現(xiàn)任和前任政府官員一直批評基辛格在擔(dān)任英特爾CEO時承諾過多，而在政府同意給予該公司數(shù)十億美元的贈款和其他補貼后卻沒有兌現(xiàn)。

xLight的交易使用了2022年《芯片與科學(xué)法案》中分配給擁有前途技術(shù)的早期階段公司的資金。這是特朗普第二個任期內(nèi)的首個芯片法案撥款，并且是一項初步協(xié)議，意味著尚未最終確定，可能會發(fā)生變化。

“這種伙伴關(guān)系將支持一種能夠從根本上改寫芯片制造極限的技術(shù)，”商務(wù)部長霍華德·盧特尼克在新聞稿中說。

一些分析師批評政府直接投資英特爾等公司的戰(zhàn)略，將這種做法稱為國家資本主義，并指責(zé)政府官員挑選贏家和輸家。盧特尼克表示，刺激關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)并引入其他私營部門合作伙伴是有意義的。

這家初創(chuàng)公司的計劃很大膽。xLight計劃建造由粒子加速器驅(qū)動的巨大“自由電子激光器”，以創(chuàng)造更強大、更精確的光源，用于芯片制造廠。每臺機器的尺寸約為100米乘50米，并將作為公用事業(yè)規(guī)模的解決方案安裝，即安裝在晶圓廠墻外。基辛格說，這1.5億美元的投資將幫助xLight實現(xiàn)其在2028年生產(chǎn)第一批硅晶圓的目標。

該公司的首席執(zhí)行官是尼古拉斯·凱勒茲，他曾在一家量子計算公司和政府研究實驗室工作。xLight今年夏天從包括Playground Global在內(nèi)的投資者那里籌集了4000萬美元，基辛格現(xiàn)在是Playground Global的普通合伙人。

ASML目前使用的最先進激光器產(chǎn)生波長約為13.5納米的極紫外光。xLight的激光器瞄準的是更精確的波長，低至2納米。如果該公司能夠達到這種精度水平，它可以幫助芯片制造商在硅晶圓上刻畫出更細微的微觀線條。

這可以幫助半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)沿著摩爾定律描述的軌跡發(fā)展，該定律規(guī)定每塊芯片上的晶體管數(shù)量——因此芯片的計算能力——應(yīng)每兩年翻一番。

“我們是來喚醒摩爾定律的，”基辛格說。“它一直在打盹。”

基辛格表示，這項新技術(shù)可以將晶圓處理效率提高多達30%到40%，并相信xLight的激光器比目前的光源使用的能量少得多。

“如果這家公司成功了，我們將改變半導(dǎo)體行業(yè)，”他說。“我們可以改善當今EUV的經(jīng)濟性，并使明天的EUV成為可能。”

xLight的聲明突顯了特朗普政府內(nèi)部對于如何加強美國先進半導(dǎo)體制造的想法日益高漲的熱情。

10月，由投資者彼得·蒂爾支持的半導(dǎo)體制造初創(chuàng)公司Substrate表示，已籌集1億美元用于嘗試開發(fā)美國芯片晶圓廠，其中包括一種類似于xLight的EUV工具。商務(wù)部一直在向臺積電等芯片制造商施壓，要求其擴大在美國的投資。

基辛格說，他在2月向盧特尼克提到了xLight，當時他還沒有加入這家初創(chuàng)公司，盧特尼克的職位也尚未得到參議院確認。基辛格說，他在電話中將其描述為一家可以幫助政府實現(xiàn)將更多芯片制造工藝帶回美國這一目標的公司。

“他非常感興趣，”基辛格說。

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