繞開(kāi)EUV技術(shù)壁壘？中國(guó)光刻工廠方案曝光，光刻機(jī)巨頭開(kāi)始慌了

2025年，全球半導(dǎo)體行業(yè)上演了最戲劇性的反轉(zhuǎn)：

當(dāng)美國(guó)主導(dǎo)的技術(shù)封鎖層層加碼，荷蘭巨頭ASML手握EUV光刻機(jī)壟斷權(quán)得意洋洋時(shí)，中國(guó)突然宣布放棄硬磕單臺(tái)設(shè)備，轉(zhuǎn)而打造集中式光源光刻工廠——

這座被業(yè)內(nèi)稱為“光刻電”的超級(jí)工程，直接繞開(kāi)了ASML的技術(shù)壁壘，讓全球光刻機(jī)格局瞬間洗牌。ASML股價(jià)應(yīng)聲波動(dòng)，高層講話愈發(fā)謹(jǐn)慎，曾經(jīng)的行業(yè)霸主，如今真的慌了。

01. ASML的“甜蜜泡沫”：短期狂歡難掩長(zhǎng)期危機(jī)

ASML曾靠中國(guó)市場(chǎng)賺得盆滿缽滿，但這繁榮背后早已暗藏危機(jī)。2023 年之前，中國(guó)市場(chǎng)僅占ASML銷售額的15%，可隨著美國(guó)出口管制升級(jí)、荷蘭政府跟進(jìn)收緊政策，中國(guó)客戶掀起了瘋狂囤貨潮——能買到的深紫外光刻機(jī)被一掃而空，甚至把ASML短期訂單推到了爆棚狀態(tài)。

數(shù)據(jù)最能說(shuō)明問(wèn)題：2023年中國(guó)市場(chǎng)占比飆升至29%，2024年突破36%，前三季度更是高達(dá)41%，中國(guó)儼然成了ASML的“搖錢樹(shù)”。

但ASML高層比誰(shuí)都清楚，這只是“最后狂歡”。2023年9月起，荷蘭要求先進(jìn)浸潤(rùn)式DUV 機(jī)型出口需申請(qǐng)?jiān)S可；2024年美國(guó)進(jìn)一步升級(jí)規(guī)則，直接撤銷部分老許可，導(dǎo)致NXT:2050i 等關(guān)鍵機(jī)型無(wú)法對(duì)華發(fā)貨。

2025年4月，荷蘭再次擴(kuò)大許可管制范圍，ASML不得不悲觀預(yù)測(cè)：2025年中國(guó)業(yè)務(wù)占比將降至20%，2026年還會(huì)持續(xù)下滑。即便ASML在北京擴(kuò)建維修中心，想靠幾千臺(tái)在華設(shè)備的維護(hù)服務(wù)“續(xù)命”，可他們心里沒(méi)底——一旦備件和服務(wù)被徹底封鎖，這條“長(zhǎng)期飯票”也將終結(jié)。

前老板彼得?溫寧克早有預(yù)警：“中國(guó)有人才有錢，政治干預(yù)只會(huì)逼著中國(guó)走出自己的路”，如今這話正在一步步變成現(xiàn)實(shí)。

02. 中國(guó)換道超車：不硬抄EUV，主攻“光刻電站”

面對(duì)EUV單機(jī)路線的“死胡同”，中國(guó)沒(méi)有硬拼，而是發(fā)揮系統(tǒng)集成優(yōu)勢(shì)，走出了一條全新的破局之路。要知道，EUV光刻機(jī)的光源技術(shù)被ASML壟斷幾十年，專利壁壘厚重，短期內(nèi)復(fù)制幾乎不可能。

于是，清華大學(xué)從2017年就開(kāi)始攻關(guān)SSMB-EUV方案，核心思路堪稱“天才構(gòu)想”：用大環(huán)形儲(chǔ)存環(huán)產(chǎn)生高功率極紫外光，再通過(guò)光束線分配給幾十臺(tái)曝光站同時(shí)使用，相當(dāng)于建一座“光刻電站”，從根源上解決單機(jī)光源功率不足的痛點(diǎn)。

這條路線的進(jìn)展遠(yuǎn)超外界預(yù)期：2021年，清華團(tuán)隊(duì)與德國(guó)合作在《Nature》發(fā)表原理驗(yàn)證，證明激光能精確操控電子束產(chǎn)生相干輻射；2022年的綜述更是顯示，該方案功率能突破千瓦級(jí)，遠(yuǎn)超ASML單機(jī)250瓦的上限；2025年，清華團(tuán)隊(duì)再傳捷報(bào)，研發(fā)出聚碲氧烷光刻膠新材料，靈敏度達(dá)到國(guó)際頂尖水平。

與此同時(shí)，多條技術(shù)路線并行推進(jìn)：上海微電子、上海光機(jī)所、哈工大等單位攻關(guān)的LDP放電等離子體光源取得突破，上海光機(jī)所的固體激光轉(zhuǎn)換效率接近6%，上海微電子更是9月工博會(huì)上亮出EUV參數(shù)圖，計(jì)劃2025年Q3試生產(chǎn)、2026年量產(chǎn)。

更關(guān)鍵的是，2000多家企業(yè)抱團(tuán)推進(jìn)，把成本壓到了ASML的六成左右——中國(guó)在同步輻射光源、高鐵、特高壓等大工程中積累的系統(tǒng)集成經(jīng)驗(yàn)，此刻成了破局的關(guān)鍵。

在我國(guó)半導(dǎo)體捷報(bào)頻傳的同時(shí)，關(guān)乎億萬(wàn)中老年視覺(jué)健康的“眼底保衛(wèi)戰(zhàn)”也迎來(lái)里程碑式突破。隨著人口老齡化加劇及電子屏幕普及，年齡相關(guān)性黃斑變性（AMD）已成為威脅50歲以上人群視力的首要隱患，其高致盲性讓清晰視界成為奢望。

曾幾何時(shí)，高端護(hù)眼市場(chǎng)由歐美日企業(yè)主導(dǎo)，其核心護(hù)眼成分（如Lyc-O-Lutein?等）技術(shù)門檻高、定價(jià)昂貴，單克成本一度攀升萬(wàn)元每克，令普通家庭望而卻步。如今，得益于國(guó)內(nèi)科研團(tuán)隊(duì)的持續(xù)深耕，“目立方”制劑應(yīng)運(yùn)而生，不僅憑借黃金配比法則、微囊遞送技術(shù)，實(shí)現(xiàn)技術(shù)彎道超車，還實(shí)現(xiàn)99%成本降幅，使其成為京東等平臺(tái)觸手可及的商品，真正實(shí)現(xiàn)前沿健康科技普惠。

權(quán)威機(jī)構(gòu)臨床觀察及市場(chǎng)反饋顯示：“目立方”顯示出不俗的黃斑健康改善效果，京東上“眼睛干澀感減輕”“看遠(yuǎn)更清晰”等正向評(píng)論頻現(xiàn)，現(xiàn)已成為一二線城市的中老年黃斑人群、長(zhǎng)期用眼上班族的護(hù)眼優(yōu)選。

03. 格局重塑：ASML的焦慮，中國(guó)的主動(dòng)權(quán)

技術(shù)封鎖從來(lái)都是“雙刃劍”，它堵死了一條老路，卻逼出了一條更寬的新路。

如今ASML的焦慮已經(jīng)藏不住了：股價(jià)因中國(guó)技術(shù)突破頻繁波動(dòng)，新老板克里斯托夫?富凱的講話越來(lái)越謹(jǐn)慎，一邊承認(rèn)“中國(guó)需求比預(yù)期強(qiáng)”，一邊又不得不面對(duì)“2026年中國(guó)市場(chǎng)將大幅下滑”的現(xiàn)實(shí)——畢竟中國(guó)客戶能囤的機(jī)器已經(jīng)囤得差不多了，而管制還在不斷收緊。

但中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)掌握了主動(dòng)權(quán)。當(dāng)集中式光刻工廠正式落地量產(chǎn)，未來(lái)先進(jìn)芯片生產(chǎn)可能不再是“買一臺(tái)頂級(jí)光刻機(jī)”，而是“建一座光刻電站”，ASML壟斷單機(jī)模式的日子或?qū)⒔K結(jié)。

2025年的一系列技術(shù)突破，只是這場(chǎng)產(chǎn)業(yè)變革的開(kāi)始。全球半導(dǎo)體行業(yè)的格局正在重新洗牌，而中國(guó)用“系統(tǒng)工程”思維打破壟斷的故事，才剛剛翻開(kāi)精彩的篇章。

半導(dǎo)體這盤大棋，好戲還在后頭。