我國(guó)光刻機(jī)從世界前列到落后世界20年，根源就四個(gè)字：造不如買

如果你今天打開手機(jī)，看到中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”，再回頭看看幾十年前中國(guó)光刻機(jī)幾乎和世界并肩起跑，可能會(huì)有點(diǎn)恍惚：這幾十年，我們到底經(jīng)歷了什么？

上世紀(jì)八十年代，中國(guó)的光刻技術(shù)只比美國(guó)晚個(gè)七年；而現(xiàn)在，荷蘭的ASML已經(jīng)在搞2納米的極紫外光刻機(jī)，我們還在啃28納米的骨頭。

整整20年技術(shù)代差，不是別人甩得快，是我們?cè)?jīng)自己主動(dòng)放慢了腳步。這背后的癥結(jié)，其實(shí)早就寫在四個(gè)字里：造不如買。

那當(dāng)年那條“買買買”的路，現(xiàn)在看，真的走得值嗎？

起點(diǎn)不低，咱也曾站在世界第一排

1965年，我們就做出了自己的第一臺(tái)接觸式光刻機(jī)，跟美國(guó)比也就差了四年。到了1985年，中國(guó)的分步光刻機(jī)樣機(jī)實(shí)現(xiàn)了3微米的精度，追上了美國(guó)1978年的水平。

那會(huì)兒我們和世界頂尖的差距頂多也就一個(gè)奧運(yùn)周期，絕不是現(xiàn)在這樣兩代、三代的鴻溝。

那個(gè)年代的技術(shù)積累靠的是啥？靠的是“自力更生”四個(gè)字。中電科45所攻下了分布式投影這塊硬骨頭，清華大學(xué)也啃出了3微米的高精度光刻設(shè)備。

全國(guó)一盤棋，集中攻關(guān)，1977年還專門搞了場(chǎng)全國(guó)光刻機(jī)技術(shù)座談會(huì)，42家單位齊上陣，計(jì)劃經(jīng)濟(jì)的那套“集中力量辦大事”在這件事上確實(shí)發(fā)揮了威力。

當(dāng)時(shí)新華社甚至用了“世界第一方陣”來(lái)形容我們的技術(shù)水平，并不夸張。因?yàn)槟菚r(shí)候國(guó)內(nèi)的芯片制造基本靠國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)撐著，進(jìn)口只是補(bǔ)充，而現(xiàn)在呢？高端設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率還不到5%。

“買買買”成了“斷脈刀”

進(jìn)入八十年代，中國(guó)開始大規(guī)模對(duì)外開放，政策思路也從“自己造”慢慢變成了“買回來(lái)用”?！百Q(mào)工技”成了主旋律，意思是先通過(guò)貿(mào)易引進(jìn)技術(shù)和設(shè)備，再談自主研發(fā)。聽(tīng)起來(lái)挺合理，但問(wèn)題是，這條路上很多人只走前半段，后半段壓根就沒(méi)走。

最典型的就是一批國(guó)家重大專項(xiàng)，當(dāng)年的908工程和909工程，傾向于用外資設(shè)備直接搞生產(chǎn)，結(jié)果國(guó)產(chǎn)設(shè)備研發(fā)資金一砍再砍。

光刻機(jī)領(lǐng)域也沒(méi)逃過(guò)這波寒潮，原本在技術(shù)線上拼命爬坡的團(tuán)隊(duì)，被迫轉(zhuǎn)行或者解散。像中電科45所的核心團(tuán)隊(duì)，后來(lái)就遷去了上海，算是光刻機(jī)研發(fā)的“二次創(chuàng)業(yè)”。

與此同時(shí)，人才也開始流失，那會(huì)兒高校里的微電子專業(yè)成了冷門專業(yè)，畢業(yè)生寧愿去外資企業(yè)搬磚，也不愿意在國(guó)內(nèi)研究所里熬項(xiàng)目。

原本起步不晚的國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)，被“買辦資本”擠得透不過(guò)氣。而國(guó)外廠商把我們當(dāng)成“現(xiàn)金奶?！?，該賣的設(shè)備賣一半，不該賣的技術(shù)一個(gè)字都不透露。

根據(jù)數(shù)據(jù)，90年代中國(guó)光刻機(jī)專利申請(qǐng)量比高峰期暴跌了六成，而ASML卻靠著全球供應(yīng)鏈整合，一步步做成了壟斷巨頭。

代差越來(lái)越大，“卡脖子”成了常態(tài)

到了今天，這些年積累的“技術(shù)債”終于集中爆發(fā)，上海微電子現(xiàn)在能量產(chǎn)的光刻機(jī)，精度是90納米，28納米的樣機(jī)還在路上。

而ASML人家已經(jīng)能做2納米的極紫外光刻機(jī)了，按照美國(guó)高盛的估算，中國(guó)和世界頂級(jí)光刻技術(shù)的差距至少兩代，保守都得按20年來(lái)算。

為什么追不上？技術(shù)封鎖是一方面，核心零部件拿不到更是致命。EUV光刻機(jī)最關(guān)鍵的幾個(gè)部件：極紫外光源、高精度反射鏡、光學(xué)系統(tǒng)都被《瓦森納協(xié)定》擋在門外。

芯片制造環(huán)節(jié)被掐脖子的后果是成本飛漲，還要看人臉色，中芯國(guó)際想做7納米芯片，但沒(méi)有EUV設(shè)備，只能用多重曝光這種“曲線救國(guó)”的方法，結(jié)果工藝復(fù)雜、良率低、成本高，性價(jià)比比不過(guò)別人。

現(xiàn)在中國(guó)芯片自給率還不到三成，靠外面進(jìn)口的那部分，動(dòng)不動(dòng)就有“斷供”風(fēng)險(xiǎn)。這其中最深的教訓(xùn)，還是當(dāng)初那四個(gè)字：造不如買。

自主創(chuàng)新，不是口號(hào)，是底氣

不管過(guò)去的路多繞，現(xiàn)在這筆賬必須得算清楚，光刻機(jī)的落后不是一朝一夕造成的，是一個(gè)國(guó)家在發(fā)展路線選擇上的長(zhǎng)期搖擺。

早年那種“造不如買”的心態(tài)，的確幫我們省了點(diǎn)時(shí)間，省了點(diǎn)錢，但最終卻丟了控制權(quán)，丟了話語(yǔ)權(quán)。

好消息是，現(xiàn)在這場(chǎng)“技術(shù)補(bǔ)課”已經(jīng)開始加速，國(guó)家大基金三期已經(jīng)投了930億元，重點(diǎn)方向之一就是設(shè)備和材料。上海微電子的28納米光刻機(jī)樣機(jī)預(yù)計(jì)今年交付，雖然趕不上世界最前沿，但起碼已經(jīng)重新上道。

哈工大在13.5納米光源上也取得了突破，華為在量子芯片方向的專利布局，或許能在將來(lái)實(shí)現(xiàn)“換道超車”。

但比技術(shù)更重要的是認(rèn)知上的轉(zhuǎn)變，今天的中國(guó)，已經(jīng)不再幻想靠市場(chǎng)換來(lái)核心科技。從“造不如買”走到“買也得造”，這是一次國(guó)家層面的價(jià)值觀逆轉(zhuǎn)。不

僅是光刻機(jī)，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈都在朝著自主可控靠近，我們不怕起點(diǎn)低就怕方向錯(cuò)。

有人說(shuō)，中國(guó)如果早二十年堅(jiān)持下去，今天就不會(huì)受這么多氣。這話雖然刺耳，但也點(diǎn)中了要害，技術(shù)不能靠買來(lái)的，產(chǎn)業(yè)話語(yǔ)權(quán)更不能靠別人恩賜。

早一天明白這個(gè)道理，就能少走一些彎路。

回頭看中國(guó)光刻機(jī)的發(fā)展史，從“領(lǐng)先七年”到“落后二十年”，每一個(gè)數(shù)字背后都是一次選擇的代價(jià)。今天的我們正在為昨天的短視買單，但也在為明天的自立埋下伏筆。

歷史不會(huì)撒謊，只會(huì)在輪回中提醒：該自己干的事，別指望別人會(huì)幫你干。走過(guò)“造不如買”的彎路，接下來(lái)這條“買也得造”的路，才是真正屬于中國(guó)芯的正道。

參考信息：
中國(guó)光刻機(jī)，從自強(qiáng)到困頓——2023-07-10 來(lái)源：新華社《財(cái)經(jīng)國(guó)家周刊》
國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的突圍之路——2022-11-03 來(lái)源：央視新聞《面對(duì)面》欄目
“兩彈一星”精神與當(dāng)代科技攻關(guān)——2021-05-28 來(lái)源：《求是》
高端光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展與挑戰(zhàn)——2020-06-15 來(lái)源：《中國(guó)科學(xué)：技術(shù)科學(xué)》