國產儀器助力“芯”行業加速崛起

　某晶圓廠內，一臺進口痕量氣體分析儀因故障停機，供應商回復配件到貨周期需三個月，整條產線被迫降速，產量受到嚴重影響。

　　隨著中美加稅持續升級，全球供應鏈波動不斷，美國激進的關稅政策，在全球供應鏈中引發沖擊波 ，長期依賴進口儀器的局限性正在加速顯現——價格高昂、周期冗長、售后滯后，已成為中國半導體制造鏈條上不能承受之重的沉重負荷。

　　推進核心檢測裝備的國產替代，不再是技術理想，而是應對全球博弈下的現實必答題。

　　就在4月11日，中國物流與采購聯合會公共采購分會發布倡議，號召鍛造“自主鏈核”，優先采購國產尖端設備，將產業鏈的“斷點”轉化為自主可控的“核心支點”。

　　中國半導體行業協會同日發布《關于半導體產品“原產地”認證規則的緊急通知》，明確“晶圓流片地即原產地”的認定原則，強化制造主權，也直指高端科學儀器必須自主掌控的核心痛點（點擊閱讀原文）。

　　政策引導與產業倒逼正加速共振。國產檢測裝備正在迎來關鍵窗口期，國產替代步入“從可用到主用”的深水區。

　　變局當前，退無可退。倒逼突圍，箭在弦上。

　　聚光科技，正是這場“從可用到主用”的國產攻堅戰中的破局者。

　　聚光科技依托二十余年在光譜、色譜、質譜與自動化等領域的技術積淀，積極推出高度定制化、系統自動化的半導體行業專用創新產品與解決方案，在潔凈室氣態分子污染物監測、半導體制程金屬污染檢測、半導體電子特氣泄漏檢測等應用領域完成國產化布局，幫助客戶提升生產效率和產品質量，同時為國產科學儀器在高端檢測領域的創新發展注入強勁動力。

　　在電子級化學品和晶圓拋光片的生產車間，哪怕是萬億分之一濃度的金屬雜質，都可能成為良率滑坡的罪魁禍首。

　　譜育科技自主研發的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS，采用創新三重四極桿架構，穩定實現0.1ppt級別超高靈敏度，即便面對復雜基質，也能精準鎖定痕量雜質。

EXPEC 7350系列ICP-MS/MS

　　經過數千小時連續測試，EXPEC 7350系列ICP-MS/MS在檢出限、長期穩定性、氧化物產率等關鍵指標上，全面超越國際同類標準，真正實現了高端材料檢測的自主可控。

　　硅烷、磷烷、三氟化氮……在芯片工廠，這些特氣一旦泄漏，后果難以想象。

　　針對特氣泄漏風險，譜育科技推出的GDM-2100 Series半導體氣體探測器，集成智能傳感器平臺，能夠精準偵測40余種半導體特氣，為廠區安全運行構建起一道道堅實防線。在實際應用中，該系統已為某個12英寸晶圓項目提供全天候氣體泄漏監測，有效提升了廠區的生產安全水平。

GDM-2100 Series半導體氣體探測器

　　隨著半導體工藝節點不斷邁向5nm乃至3nm，微量氣態污染也可能導致產品報廢。半導體行業對檢測設備的靈敏度、穩定性與響應速度提出了前所未有的高標準。污染早發現、早控制，成為產線安全運行的底層邏輯。

　　在半導體廠區，譜育科技AMC 1000微污染氣體監測系統通過分布式多點采樣，集成GC-MS、CRDS等先進技術，將廠區空氣環境編織成一張無形的“感知之網”，實時鎖定ppb級污染風險。采樣管路覆蓋范圍可達200米，檢出限低至0.1ppb，幫助客戶第一時間預警微小污染源，防患于未然。

AMC 1000微污染氣體監測系統

　　為了滿足快速布控與局部排查需求，譜育科技還推出了移動推車式AMC監測系統，內置大容量電池與獨立觸控終端，脫離市電也能持續監測。

移動推車式AMC監測系統

　　在潔凈室，一臺痕量氣體分析儀穩定運行，實時監測車間環境中的氯化氫濃度。屏幕上報警信息同步推送，為產線調整爭取寶貴時間。

　　這臺設備正是聚光科技推出的SCA系列高精度痕量氣體分析儀。基于自主研發的CRDS技術，該設備可以在有限的光腔內實現長達20千米的有效測量光程，對HF、NH?、HCl等有害氣體進行ppb級別的實時監測，各項指標比肩進口設備。

SCA系列高精度痕量氣體分析儀

　　在過去，國內相關檢測設備在靈敏度與穩定性方面始終受限，難以滿足先進工藝對潔凈環境的極致要求。聚光科技成功打破國外在CRDS技術領域的長期壟斷，自主構建起完整技術體系，填補了國內空白，助力半導體檢測實現關鍵技術自主可控。

　　項目測試數據顯示，SCA系列高精度痕量氣體分析儀的監測數據與某進口品牌設備相似度高達99.77%，氣體切換響應時間領先10-20秒，成為產線上真正的“黃金救援助手”。

SCA系列（HCI）比對測試數據

　　如今，聚光科技的高端檢測裝備已助力國內多家晶圓廠、半導體材料等企業穩步提升產線良率與本質安全水平，為“中國芯”保駕護航。

　　譜育科技EXPEC 7350系列已成功應用于多家大型半導體企業。某寬禁帶半導體材料企業將該設備用于襯底拋光片、外延片及高純試劑中的痕量金屬檢測。經過半年使用，設備表現穩定，客戶對其性能及售后服務給予高度認可。

EXPEC 7350系列應用于某寬禁帶半導體材料企業

　　在國內先進制程芯片制造企業和8+12英寸集成電路制造企業，EXPEC 7350S型ICP-MS有效覆蓋G3~G5級化學品的質控要求，實現了G5級硝酸、氫氟酸、雙氧水、IPA等試劑的過程品控。

　　在國內領先的12寸硅片制造企業和化合物半導體制造企業，譜育科技利用VPD與7350S組合方案，能夠實現自動化監測晶圓表面金屬離子沾污，滿足8-12寸硅片制造企業和化合物半導體制造企業的品控要求。

　　在某12英寸集成電路生產線建設項目中，GDM-2100 Series半導體氣體探測器為30余種有毒有害氣體建立了實時在線監測體系，通過多層級報警聯動機制，大幅提升了生產環境的本質安全水平。

GDM-2100 Series半導體氣體探測器助力某12英寸集成電路生產線建設項目

　　國內領先晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監測系統，實現潔凈室酸、堿、VOC等多類污染物的ppb級連續監測。系統支持多點分布式采樣與靈活移動部署，為生產優化與環境控制提供實時數據支撐。

國內領先晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監測系統

　　某半導體廠在引入國產SCA系列高精度痕量氣體分析儀后，發現其檢測精度與進口設備相當，響應速度快，運行穩定，隨即加購一臺。客戶反饋：“性能對標進口，服務響應更快，國產儀器完全可以放心用。”

　　聚光科技，用科技創新擦亮了國產檢測裝備的底色，夯實了半導體制造的技術根基。

　　創新，從未止步；責任，始終在肩。

　　未來，聚光科技將繼續錨定國家戰略所需，聚焦產業發展所急，深耕高端科學儀器領域，助力中國半導體產業走得更穩、更遠、更強。

　　以科技之光，照亮制造強國之路；以自主之力，支撐中國“芯”脈向上生長。