死磕技術(shù)，南大光電，摘得全球第一！

國(guó)內(nèi)高校，“批量生產(chǎn)”上市公司老總。

紫光集團(tuán)董事長(zhǎng)趙偉國(guó)、兆易創(chuàng)新創(chuàng)始人朱一明、豪威集團(tuán)創(chuàng)始人虞仁榮等，均出身于清華大學(xué)。百度李彥宏、新東方俞敏洪則來(lái)自隔壁的北京大學(xué)。

相較于清北系的“創(chuàng)業(yè)天團(tuán)”，南京大學(xué)似乎低調(diào)許多。

雖然低調(diào)，卻不妨礙南大走出一批響當(dāng)當(dāng)?shù)钠髽I(yè)家，恒瑞醫(yī)藥、天合光能、華海誠(chéng)科等公司創(chuàng)始人均出身南京大學(xué)。另外，南大光電創(chuàng)始人、“中國(guó)MO源之父”——孫祥禎，早年也就讀于南京大學(xué)化學(xué)系。

MO源——“易燃易爆炸”

MO源聽起來(lái)陌生，卻是芯片制造中的核心材料。

芯片制造薄膜沉積、刻蝕、光刻三大流程中，MO源主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積環(huán)節(jié)。將MO源與氨氣或其他氣體在高溫腔室中加熱反應(yīng)后，可在襯底表面生成晶體薄膜，完成薄膜沉積。

這一材料多用在LED芯片、射頻芯片中，手機(jī)和電視屏幕能不能發(fā)光、發(fā)什么光，本質(zhì)上是由MO源種類來(lái)決定的。

MO源純度要求相當(dāng)高，基本在6N以上，技術(shù)把控很嚴(yán)苛。

創(chuàng)始人孫祥禎1989年研發(fā)出MO源主要材料三甲基銻，2000年又帶領(lǐng)課題組攻克MO源研發(fā)，打破海外企業(yè)壟斷并成功產(chǎn)業(yè)化，南大光電由此正式成立。

此外，MO源化學(xué)性質(zhì)活潑，空氣中就能自燃，遇水則猛烈爆炸。“易燃易爆炸”的特性，令當(dāng)時(shí)不少公司望而卻步。20世紀(jì)80年代，科研環(huán)境跟今天無(wú)法相提并論。MO源研發(fā)設(shè)備啟動(dòng)時(shí)噪音極大，這種條件下創(chuàng)始人孫祥禎依然堅(jiān)持實(shí)驗(yàn)，后面落下右耳失聰?shù)拿　?/p>

死磕技術(shù)的精神，令南大光電得到應(yīng)有回報(bào)，2019年南大光電MO源產(chǎn)品市占率達(dá)到全球第一。

2021年來(lái)，公司含MO源在內(nèi)的前驅(qū)體材料業(yè)務(wù)，毛利率長(zhǎng)期在40%以上，盈利能力比肩芯片設(shè)計(jì)公司。

2025上半年，南大光電前驅(qū)體材料（含MO源）產(chǎn)能為195.95噸、產(chǎn)量為182.53噸，產(chǎn)能利用率攀升至93.15%，是南大光電近幾年產(chǎn)能利用率的高峰。中報(bào)顯示公司還有143噸在建產(chǎn)能，下游市場(chǎng)供不應(yīng)求。

攻克MO源，只是南大光電前進(jìn)路上的第一步，后面還有更多挑戰(zhàn)，等待公司去征服。

承接“02”專項(xiàng)

進(jìn)軍電子特氣

半導(dǎo)體材料位于產(chǎn)業(yè)鏈上游，涵蓋光掩模、電子特氣、濺射靶材、拋光材料、引線框架等環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

拿下MO源的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)后，南大光電將目光轉(zhuǎn)向電子特氣。

21世紀(jì)初，為了突破半導(dǎo)體核心技術(shù)，名為《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝項(xiàng)目》的“02專項(xiàng)”橫空出世，與公司主營(yíng)業(yè)務(wù)相契合。2013年，南大光電正式承接“02專項(xiàng)”中高純特種電子氣體的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

不負(fù)眾望，三年時(shí)間過去，南大光電具備高純度砷烷、磷烷產(chǎn)業(yè)化能力，將純度提升至6N級(jí)。

又過了三年，2019年10月公司收購(gòu)山東飛源氣體，切入氟類氣體領(lǐng)域，真正走上營(yíng)收增長(zhǎng)的“快車道”。山東飛源氣體，是當(dāng)下南大光電淄博子公司的前身。

2019年-2024年，公司電子特氣收入以74.1%的年復(fù)合增長(zhǎng)率，從1.64億增長(zhǎng)到15.06億。同期，南大光電營(yíng)收從3.21億增長(zhǎng)至23.52億元，電子特氣是其中主要推動(dòng)力量。

電子特氣業(yè)務(wù)能實(shí)現(xiàn)快速放量，離不開公司的精準(zhǔn)布局。

三氟化氮是電子特氣需求最大的領(lǐng)域，市場(chǎng)占比多年來(lái)維持在20%左右，南大光電精準(zhǔn)布局三氟化氮，承接下游市場(chǎng)需求。2025上半年仍有7200噸電子級(jí)三氟化氮項(xiàng)目在建，預(yù)算總投資額10億元。

電子特氣是晶圓制造中的重要耗材，貫穿芯片制造全過程。

薄膜沉積、刻蝕、光刻都離不開電子特氣，高溫制造工藝中還需要惰性氣體來(lái)保護(hù)晶圓。近年來(lái)半導(dǎo)體領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代的全方位推進(jìn)，2020-2024年間，國(guó)內(nèi)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模從174增長(zhǎng)至262億元。

加上南大光電自身也很“爭(zhēng)氣”，研發(fā)費(fèi)用率在2020年一度沖上38.98%。內(nèi)外雙管齊下，公司電子特氣業(yè)務(wù)迅速增長(zhǎng)，算是情理之中。

攻堅(jiān)克難

瞄準(zhǔn)ArF光刻膠

南大光電繼續(xù)在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域開疆?dāng)U土，這次，公司的目標(biāo)轉(zhuǎn)向光刻膠。

光刻膠通常以波長(zhǎng)分類，從生產(chǎn)難度來(lái)說(shuō)g線＜i線＜KrF光刻膠＜ArF/ArFi光刻膠＜EUV光刻膠。南大光電繞過中低端產(chǎn)品，直接布局了高端ArF光刻膠。

2021年7月，南大光電光刻膠驗(yàn)證完畢，成為國(guó)內(nèi)首個(gè)通過ArF光刻膠客戶驗(yàn)證的公司。旗下子公司寧波南大光電實(shí)力強(qiáng)大，可自主研發(fā)光敏劑、功能樹脂等原料，實(shí)現(xiàn)從光刻膠原材料到配套產(chǎn)品的全部自主化。

從MO源前驅(qū)體材料到電子特氣研發(fā)，再到ArF光刻膠的技術(shù)突破。沖在攻堅(jiān)克難第一線，符合南大光電的一貫作風(fēng)。

但國(guó)內(nèi)強(qiáng)敵環(huán)伺，鼎龍股份、彤程新材、華懋科技等公司同樣布局了光刻膠。

2025年3月，鼎龍股份發(fā)布公告擬募集資金9.1億，投資超8億用于300噸ArF/KrF光刻膠產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目建設(shè)。2025上半年，公司布局近30款高端光刻膠，超過15款產(chǎn)品已送樣給客戶驗(yàn)證。

彤程新材ArF光刻膠、KrF光刻膠在2025上半年也陸續(xù)通過國(guó)內(nèi)多家客戶認(rèn)證，公司300噸ArF光刻膠和400噸KrF光刻膠計(jì)劃產(chǎn)能，已有部分建設(shè)完成。華懋科技則是依托于徐州博康，間接布局光刻膠業(yè)務(wù)。

相較于上述3家公司，南大光電的優(yōu)勢(shì)在于產(chǎn)品通過驗(yàn)證時(shí)間早、全環(huán)節(jié)自研。2024年公司年報(bào)稱，ArF光刻膠已經(jīng)通過下游3家客戶驗(yàn)證。

自研雖好，但放量上也得做足功夫。

雖說(shuō)南大光電2024年ArF光刻膠銷售額突破千萬(wàn)級(jí)別，但與公司電子特氣、前驅(qū)體材料的收入規(guī)模相比似乎有些不夠看了，財(cái)報(bào)之中也并未顯示擴(kuò)產(chǎn)苗頭。

2028年國(guó)內(nèi)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模可突破150億，彤程新材、鼎龍股份等公司虎視眈眈，南大光電仍需嚴(yán)陣以待。

總結(jié)

從三甲基銻到ArF光刻膠，從自研前驅(qū)體材料到進(jìn)軍高端光刻，南大光電在這條路上堅(jiān)持了20年。

不論是上游半導(dǎo)體材料、設(shè)備，還是中游晶圓制造與下游封測(cè)環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代正在全面推進(jìn)。海闊憑魚躍，天高任鳥飛，屢次率先打破海外壟斷、實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破的南大光電，日后有望繼續(xù)砥礪前行！