晶圓制造主力軍中芯國際、刻蝕設備龍頭中微公司、封測大廠長電科技……眾多半導體巨頭,都默契地在一個地方建設了工廠。
那就是,上海臨港!
上海臨港被稱為“中國集成電路產業發展的一個奇跡”。
2019年之前,臨港芯片企業只有3家,產值僅1億。五六年時間過去,臨港集成電路企業數量突破300家,產值飆升至500億元,形成覆蓋裝備工藝、晶圓制造、材料封測的產業集群。
總部大樓建造在臨港的中微公司,同樣,在締造半導體設備領域的業績神話。
公司實現連續14年,營收同比增速超35%的傳說。
分產品看,2024年中微公司刻蝕設備實現收入72.8億元,其中ICP刻蝕設備為25.3億元,CCP刻蝕設備為46.5億元。
ICP(電感耦合等離子體)刻蝕用于硅和金屬等材料,技術含量更高,中微公司以該技術起家。CCP(電容耦合等離子體)技術用于刻蝕電介質材料。北方華創最初以CCP刻蝕入手,中微公司攻克了更難的ICP刻蝕。
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2025上半年,中微公司實現凈利潤7.06億,同比增長26.62%。
要知道,公司在2024年營收同比增速達到44.7%的基礎上,2025上半年營收依舊同比增長43.9%。更值得一提的是,公司當期新產品LPCVD和ALD導體化學沉積設備銷售額,同比大增608.2%,市場開拓順利。
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另外,中微公司以少數股東參股形式,投資拓荊科技、志橙半導體等公司。公司2025上半年投資收益為1.68億元,較去年同期虧損的0.08億元增加約1.76億元。增厚利潤表現。
中微公司業績“節節高”,并非曇花一現,背后有深刻原因。
從行業背景看,公司業績高增,與國內晶圓廠加快建設進度存在緊密聯系。
截至2025年8月底,國內14nm及以下先進制程晶圓產能達到16.7萬片/月,成熟核心制程與中低制程晶圓產能合計達到152.1萬片/月。比如中芯國際,就在上海臨港投資88.7億美元建設產能基地,預計最快2027年可達產。
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國產化推進跟晶圓廠的策略選擇,也是推力之一。
一來國內半導體設備國產化率,整體仍有提升空間,自主化程度較高的刻蝕、薄膜沉積環節,國產化率尚未過50%。二來晶圓廠建設出于保險起見,同個設備需要對接兩個甚至更多供應商。
即使中微公司、北方華創業務布局有重合,競爭主戰場仍集中在跟海外公司的較量上。因此,行業發展下,半導體設備龍頭業績增速普遍較快。
另一邊,高額研發為公司業績增長和技術迭代注入強勁動力。
2025上半年中微公司研發費用率接近30%,2024年研發費用率為25.35%,遠超科創板平均10%-15%的水平。高研發帶來更高創收能力,2024年中微公司人均產值大于五百萬,人均年化營收超四百萬。
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通過開發單雙臺設備、提高深寬比指標等策略,中微公司產品技術觸及海外高端水準。
7nm以下刻蝕設備,打入臺積電、SK海力士等大廠供應鏈。要知道,北方華創的客戶,幾乎全部集于中芯國際、華虹半導體、長江存儲和長鑫存儲等國內廠商。中微公司打進海外大廠供應鏈,偷偷撐起半導體設備領域的一片天。
近期,公司在攻克3nm刻蝕設備,下決心做到頂尖水平。
技術打底后,強悍的溢價能力隨之而來,中微公司毛利率基本在40%以上,近幾年與北方華創打得難舍難分。
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北方華創,是國內唯一擁有完整產品線的平臺型半導體公司。
2024年其刻蝕、薄膜沉積、熱處理和濕法設備,占到總營收72%。后面又進入離子注入設備市場,還通過收購芯源微入局涂膠顯影,逐步做大做強。
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雖說中微公司現下與北方華創經營規模相比,仍有一定差距。伴隨新業務延伸,中微公司逐漸具備“叫板”北方華創的能力。
一是薄膜沉積設備的拓展。
截至2024年底,中微公司已開發出六種金屬薄膜沉積產品,鎢金屬沉積設備已兌現1.56億元收入。公司仍有40種產品處于開發狀態,手上有4.76億元薄膜沉積訂單。
“刻蝕、薄膜沉積、光刻”,晶圓制造過程中三大環節,中微公司已布局兩個。
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二是切入MOCVD設備。
MOCVD也是薄膜沉積設備的一種,但多應用在光學器件跟功率器件上,也就是我們常說的“類半導體”,因此與其他業務區別出來,單獨進行統計。中微公司該設備全球市占率接近三成,產品矩陣完備。
傳統業務“能打”,新業務開辟順利。合同負債作為訂單的先行指標,在2025上半年,中微公司合同負債高達30.67億。
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未來,3D NAND技術的廣泛應用,有望令中微公司成為受益者,帶動更多訂單增長。
3D NAND,能提高存儲芯片的存儲密度,相對2D NAND讀寫速度更快,同時還具備更低的能耗與更高的可靠性。3D NAND每多一層,有望增加2次薄膜沉積、刻蝕過程。單層薄膜沉積面積更大,對溝道通孔深寬比要求更高。
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換言之,這項技術對光刻設備需求較低,對刻蝕設備需求更高,恰好是中微公司擅長的領域。
最后,總結一下。
中微公司深耕于刻蝕設備,部分產品進入臺積電產線,當下集中火力突破3nm工藝制程節點,力求達到海外一流技術水平。
另一邊,薄膜沉積業務拓展和3D NAND的廣泛應用,則為公司打開更多可能性。在這場國產替代大戰中,中微公司已經整裝待行!
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