回望2025：中國距離自研光刻機還要多久

2025年剛翻篇，要是用一個詞形容中國芯片圈的狀態(tài)，那必須是“憋著一股勁”。因為最前頭戳著一臺關(guān)鍵的機器——光刻機。它被稱作“芯片工業(yè)皇冠上的明珠”，攥著能否造出高端芯片的命門。

這一年，關(guān)于光刻機的消息吵得沸沸揚揚。

有人狂喜：“中國EUV原型機點亮了，卡脖子要破局了！”也有人潑冷水：“別高興太早，離量產(chǎn)還差十萬八千里呢！”真相到底如何？咱們不吹不黑，一步步說清楚。

先來看好消息。2025年，咱們在DUV（深紫外光刻機，就是造成熟工藝芯片的核心設(shè)備）這條路上，是真的邁出了實打?qū)嵉牟阶印Ｉ虾Ｎ㈦娮幽强钅茏?8納米工藝的DUV光刻機，已經(jīng)進入客戶驗證階段了，不出意外2026年就能小批量交貨。

這意味著啥？像中芯國際這種大廠，以后不用再全看國外臉色，能用國產(chǎn)設(shè)備造手機里的電源管理芯片、汽車上的MCU芯片這些常用的成熟制程產(chǎn)品，相當于在成熟芯片領(lǐng)域，咱們終于能慢慢擺脫進口設(shè)備的依賴了。

更讓人欣慰的是，圍繞光刻機的“零部件朋友圈”也終于活過來了。華卓精科做的雙工件臺，運動控制精度能達到5納米級別，速度差不多是ASML同類產(chǎn)品的一半；奧普光電在高精度鏡片上也有了進展，雖然還沒達到EUV光刻機的要求，但至少不再是“兩眼一抹黑”。

不光在傳統(tǒng)路線上追趕，咱們還在琢磨“換道超車”。

比如用納米壓印（NIL）技術(shù)繞開傳統(tǒng)光刻的路子，蘇大維格已經(jīng)做出了20納米線寬的樣片；還有科研團隊在搞SSMB-EUV這種新型光源方案，想從物理原理上另辟蹊徑，相當于給自主研發(fā)多留了條后路。

但咱們也得冷靜點，這些突破，大多集中在中低端工藝或者實驗室階段。真正的“大魔王”——EUV光刻機（造7納米及以下高端芯片的必需設(shè)備），咱們還沒真正搞定。

差距到底在哪兒？不是說某個零件不行，而是整套系統(tǒng)的協(xié)同精度跟不上。EUV光刻機工作起來，苛刻到讓人咋舌：得在真空環(huán)境里，用13.5納米的極紫外光“雕刻”芯片電路。這束光嬌貴得很，連空氣都能把它吸收了，所以整個系統(tǒng)必須做到三個“極致”：

第一是光源，得穩(wěn)定輸出250瓦以上的功率，咱們目前實驗室里才剛摸到50瓦的門檻，差得還遠；

第二是鏡頭，表面平整度的誤差得小于0.1納米——這概念有多夸張？相當于把地球磨平，起伏不能超過一根頭發(fā)絲的百分之一；

第三是工件臺，就是放晶圓的那個平臺，得以每秒1.5米的速度移動，同時定位誤差還得控制在0.5納米以內(nèi)。這難度，堪比在飛馳的高鐵上繡花，針尖都不能偏一微米。

這些看似變態(tài)的要求，背后是幾十年積累的材料科學(xué)、精密機械、控制算法和工業(yè)軟件的硬實力。ASML一臺EUV光刻機就有3000多項專利，供應(yīng)鏈橫跨歐美日十幾個國家。咱們要從零開始重建這套體系，難度一點都不亞于再造一個航天工程。

客觀說，咱們目前的規(guī)劃路線很清晰：28納米的DUV光刻機，2027年前有望實現(xiàn)完全自主，穩(wěn)穩(wěn)支撐成熟芯片制造；而7納米及以下高端芯片需要的EUV光刻機，就算一切順利，也得等到2030年以后才有可能實現(xiàn)小規(guī)模試產(chǎn)。

光刻機研發(fā)不是百米沖刺，是一場需要幾代工程師接力的長跑。2025年的最大意義，不是我們已經(jīng)搞定了多少難題，而是證實了中國有攻克光刻機系統(tǒng)難題的潛力和決心。核心技術(shù)從來買不來、討不來，只要這股勁不松，遲早能把光刻機這顆明珠攥在自己手里。