做馬桶的TOTO，進軍芯片行業(yè)，大掙

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不僅僅是英偉達和其他人工智能股票熱潮中的巨頭們感到財源滾滾。

以高科技智能馬桶而聞名的日本衛(wèi)浴制造商 Toto 的股價在1 月 2日收盤上漲近 10% ，這得益于該公司與半導體供應鏈之間出人意料的聯(lián)系。

托托配備加熱座圈和精準噴淋技術的豪華馬桶在日本非常受歡迎，在國外也越來越受歡迎。

但該公司還利用其在陶瓷領域的專業(yè)知識，大規(guī)模生產(chǎn)用于制造人工智能系統(tǒng)以及無數(shù)其他電子產(chǎn)品的微芯片這一復雜過程中的組件。

這些組件包括所謂的“靜電卡盤”，它可以將硅晶片牢固地固定到位，同時用微型晶體管進行蝕刻。

1月22日，Toto股價上漲9.7% ，亞洲芯片相關股票普遍上漲。

“隨著對生成式人工智能的需求不斷增長，存儲這項技術所需數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)中心的需求也會增加。與此同時，我們預計對Toto靜電吸盤的需求也會增長?！盩oto表示。

Toto的靜電吸盤正成為現(xiàn)代制造廠的關鍵部件

東陶（Toto）主要以其先進的馬桶和衛(wèi)生陶瓷而聞名。然而，該公司在陶瓷生產(chǎn)方面的專業(yè)技術同樣可以應用于半導體制造領域。自20世紀80年代以來，東陶已使靜電吸盤（電吸盤）成為現(xiàn)代半導體制造中不可或缺的工具。據(jù)《日經(jīng)新聞》報道，預計2025年這些產(chǎn)品的營業(yè)利潤將超過1億美元。

在現(xiàn)代半導體制造中，靜電吸盤（ESC）利用靜電力而非機械夾緊或真空吸附方式，將硅晶圓（或其他襯底）牢固地固定到位。靜電吸盤是芯片生產(chǎn)諸多環(huán)節(jié)的關鍵組件，包括極紫外光刻（EUV）、等離子刻蝕、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）以及其他需要精確晶圓定位和最大限度減少污染的工藝步驟。

雖然電子吸盤傳統(tǒng)上用于化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD) 和等離子體刻蝕，但不適用于深紫外 (DUV) 光刻工藝，因為這些工藝是在常溫常壓或浸沒液中進行的，因此晶圓下方的真空系統(tǒng)足以保持晶圓的平整度和位置。然而，極紫外 (EUV) 光刻工藝則有所不同。EUV 光刻采用極短的 13.5nm 波長，需要高真空環(huán)境以防止 EUV 光被吸收。因此，芯片制造商使用電子吸盤而非真空吸盤，因為電子吸盤在這種環(huán)境下更易于使用。此外，電子吸盤還能提供更均勻的夾緊力，降低應力，最大限度地減少變形，并改善套刻精度和關鍵尺寸 (CD) 控制。

晶圓加工和芯片制造需要超過4000道工序。近年來，極紫外光刻（EUV）工序的使用量不斷增長，需要精確晶圓定位的工序也隨之增加，因此電子卡盤（ESC）的使用量也隨之上升，推動了東陶株式會社（Toto）的收入和利潤增長。用于電子卡盤的陶瓷材料必須兼具強度和抗裂性。東陶株式會社憑借其在衛(wèi)浴制造領域長期積累的成型和燒結(jié)技術，開發(fā)出了性能均勻的材料。然而，該領域的競爭日益激烈。在電子卡盤領域，東陶株式會社面臨著新光電氣工業(yè)株式會社（Shinko Electric Industries）和應用材料公司（Applied Materials）的挑戰(zhàn)，后者與芯片設備制造商有著密切的聯(lián)系。

為了鞏固自身地位，東陶株式會社在制造業(yè)領域投入巨資。2020年，該公司斥資118億日元在日本大分縣興建了一座陶瓷生產(chǎn)工廠。從2020年4月到2024年4月，其陶瓷生產(chǎn)員工人數(shù)增加了約20%。據(jù)公司總裁清田紀昭透露，公司也在考慮新建一座工廠。

東陶集團預計，其陶瓷業(yè)務部門在2024財年的營業(yè)利潤將達到200億日元（約合1.3億美元），利潤率接近40%。這遠高于公司此前預測的7%的整體利潤率。到2026財年，東陶的目標是將這一數(shù)字提升至250億日元，并擴大產(chǎn)品范圍。

Toto公司如今將目光投向晶圓加工以外的下游工序，例如切割和封裝。報告指出，三維芯片堆疊需要新的基板技術，而陶瓷有望在這些工藝中發(fā)揮更加重要的作用。

“即使有起伏，半導體行業(yè)無疑仍將保持指數(shù)級增長，”東陶株式會社社長清田紀昭告訴《日經(jīng)新聞》。

（來源：半導體行業(yè)觀察綜合）

*免責聲明：本文由作者原創(chuàng)。文章內(nèi)容系作者個人觀點，半導體行業(yè)觀察轉(zhuǎn)載僅為了傳達一種不同的觀點，不代表半導體行業(yè)觀察對該觀點贊同或支持，如果有任何異議，歡迎聯(lián)系半導體行業(yè)觀察。

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