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光束誘導電阻變化（OBIRCH）是利用激光束在恒定電壓下的器件表面進行掃描，激光束部分能量轉化為熱能，如果金屬互聯線存在缺陷，缺陷處溫度將無法迅速通過金屬線傳導散開，這將導致缺陷處溫度累計升高，并進一步引起金屬線電阻以及電流變化，通過變化區域與激光束掃描位置的對應，定位缺陷位置，進而找出失效機理并進行根因分析。
| 項目概述
光束誘導電阻變化（OpticalBeamInducedResistanceChange,OBIRCH）是利用激光束在恒定電壓下的器件表面進行掃描，激光束部分能量轉化為熱能，如果金屬互聯線存在缺陷，缺陷處溫度將無法迅速通過金屬線傳導散開，這將導致缺陷處溫度累計升高，并進一步引起金屬線電阻以及電流變化，通過變化區域與激光束掃描位置的對應，定位缺陷位置，進而找出失效機理并進行根因分析。
| 測試目的
利用OBIRCH方法，可以有效地對電路中缺陷定位，如金屬線中的空洞、通孔(via)下的空洞，通孔底部高電阻區等，也能有效的檢測短路或漏電。
| 服務產品/領域
1、半導體材料：檢測材料中的金屬互聯線缺陷。
2、集成電路：分析集成電路中的失效原因，如金屬線中的空洞、通孔下的空洞等。
| 項目優勢
1、靈敏度高。
2、波長探測范圍廣（近紅外）。
3、無需對樣品進行破壞性處理。
| 美信優勢
1、專業團隊：擁有多名經驗豐富的檢測工程師和技術專家。
2、先進設備：配備國際領先的檢測設備，確保檢測結果的準確性和可靠性。
3、高效服務：快速響應客戶需求，提供一站式高效檢測服務。
4、權威認證：實驗室通過ISO/IEC 17025認證，檢測報告具有國際公信力。
美信檢測實驗室
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