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D-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素結構信息，其特點在二次離子來自表面單個原子層（1nm以內），僅帶出表面的化學信息，具有分析區域小、分析深度淺和檢出限高的特點，廣泛應用于物理，化學，微電子，生物，制藥，空間分析等工業和研究方面。
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| 項目概述
二次離子質譜技術（Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，D-SIMS）是一種非常靈敏的表面分析技術，通過用一次離子激發樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據二次離子的質量來測定元素種類，具有極高分辨率和檢出限的表面分析技術。D-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素結構信息，其特點在二次離子來自表面單個原子層（1nm以內），僅帶出表面的化學信息，具有分析區域小、分析深度淺和檢出限高的特點，廣泛應用于物理，化學，微電子，生物，制藥，空間分析等工業和研究方面。
| 測試目的
（1）當產品表面存在微小的異物，而常規的成分測試方法無法準確對異物進行定性定量分析，可選擇D-SIMS進行分析，D-SIMS能分析≥10μm直徑的異物成分。
（2）當產品表面膜層太薄，無法使用常規測試進行膜厚測量，可選擇D-SIMS進行分析，利用D-SIMS測量≥1nm的超薄膜厚。
（3）當產品表面有多層薄膜，需測量各層膜厚及成分，利用D-SIMS能準確測定各層薄膜厚度及組成成分。
（4）當膜層與基材截面出現分層等問題，但是未能觀察到明顯的異物痕跡，可使用D-SIMS分析表面超痕量物質成分，以確定截面是否存在外來污染，檢出限高達ppb級別。
（5）摻雜工藝中，摻雜元素的含量一般是在ppm-ppb之間，且深度可達幾十微米，使用常規手段無法準確測試摻雜元素從表面到心部的濃度分布，利用D-SIMS可以完成這方面參數測試。
| 美信優勢
1、專業團隊：擁有多名經驗豐富的檢測工程師和技術專家。
2、先進設備：配備國際領先的檢測設備，確保檢測結果的準確性和可靠性。
3、高效服務：快速響應客戶需求，提供一站式高效檢測服務。
4、權威認證：實驗室通過ISO/IEC 17025認證，檢測報告具有國際公信力。
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