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TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素、分子等結(jié)構(gòu)信息，其特點(diǎn)在二次離子來(lái)自表面單個(gè)原子層分子層（1nm以?xún)?nèi)），僅帶出表面的化學(xué)信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。
| 項(xiàng)目概述
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜技術(shù)（Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry，TOF-SIMS）是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)，通過(guò)用一次離子激發(fā)樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據(jù)二次離子因不同的質(zhì)量而飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來(lái)測(cè)定離子質(zhì)量，具有極高分辨率的測(cè)量技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。
TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素、分子等結(jié)構(gòu)信息，其特點(diǎn)在二次離子來(lái)自表面單個(gè)原子層分子層（1nm以?xún)?nèi)），僅帶出表面的化學(xué)信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。
| 測(cè)試目的
（1）當(dāng)產(chǎn)品表面存在微小的異物，而常規(guī)的成分測(cè)試方法無(wú)法準(zhǔn)確對(duì)異物進(jìn)行定性定量分析，可選擇TOF-SIMS進(jìn)行分析，TOF-SIMS能分析≥10μm直徑的異物成分。
（2）當(dāng)產(chǎn)品表面膜層太薄，無(wú)法使用常規(guī)測(cè)試進(jìn)行成分分析，可選擇TOF-SIMS進(jìn)行分析，利用TOF-SIMS可定性分析膜層的成分。
（3）當(dāng)產(chǎn)品表面出現(xiàn)異物，但是未能確定異物的種類(lèi)，利用TOF-SIMS成分分析，不僅可以分析出異物所含元素，還可以分析出異物的分子式，包括有機(jī)物分子式。
（4）當(dāng)膜層與基材截面出現(xiàn)分層等問(wèn)題，但是未能觀察到明顯的異物痕跡，可使用TOF-SIMS分析表面痕量物質(zhì)成分，以確定截面是否存在外來(lái)污染，檢出限高達(dá)ppm級(jí)別。
| 美信優(yōu)勢(shì)
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