美日荷圍堵失敗，國產光刻機已悄悄量產！外媒：低估了中國半導體

美國拉上荷蘭、日本簽了份對華芯片設備出口限制協議，目標直指先進制程光刻機。沒想到，今年11月25日，上海微電子350納米步進光刻機，已經正式出廠發貨，昆山同興達早在去年就用上了國產封測光刻機。這波操作下來，外媒紛紛改口說低估了中國半導體的實力。這場技術封鎖，到底誰更難受？

三國聯手，其實漏洞不少

我們先從管制本身說起，2023年1月，美國牽頭荷蘭、日本敲定協議，目標直指7納米以下制程設備。荷蘭9月就禁了ASML的NXT:2050i等型號，日本7月生效的新規連清洗設備都要許可，企業想出口得先交詳細的用途報告，審批周期從原來的2周拉長到2個月。

但執行起來全是破綻，荷蘭公告里特意提要找“折中點”，按商業影響微調，比如給汽車芯片用的光刻機開了特例。日本直接公開說新規要“溫和”執行，避免砸了本土企業飯碗。美國商務部官員都在國會承認，盟友執行松緊不一，效果打了折扣。

ASML 2023年三季度財報藏著細節，當時中國訂單占比從一季度24%跳到46%，但交付卡殼后只能靠消化庫存撐著，上海倉庫的設備庫存周轉天數從45天漲到72天。

美國本土企業也不好過，泛林集團2023年因對華禁令，解雇了1300名全職員工，美光科技更裁員5000人，占員工總數10%，美國半導體協會還公開警告“設限會傷害本國產業”。

日本尼康更慘，2023年二季度光刻機出貨量從8臺跌到4臺，東京電子刻蝕設備訂單環比跌15%。2023年中國半導體設備進口雖漲30%，但高端光刻占比從25%跌到18%，這說明管制有影響，但沒卡死。

國產機真能頂上去？

外界剛唱衰，國產光刻機就用實績回應。2023年9月，昆山同興達廠房里，上海微電子的金凸塊封測光刻機正式投產，兩臺設備花了3600萬，投產后第三個月就滿產，月產2萬片晶圓，分辨率達2微米，生產的新能源汽車功率模塊芯片，良品率比進口設備還高2個百分點。

某新能源車企采購這批芯片后，供應鏈響應速度比之前快了15%，庫存周轉天數減少8天，這也是國產設備能快速打開市場的關鍵，不僅能替代，還能適配國內企業的生產節奏。

不止這一家，青島新核芯拿了46臺上海微電子的90納米機型，專門做消費電子晶圓級封裝，2024年產量超3200片，還接到了東南亞客戶的訂單。這批訂單以智能手表芯片封裝為主，首批500片樣品良率達96%，客戶后續又追加了2000片訂單，打破了“國產設備只能做內銷”的偏見。

大族激光的接近式機型更接地氣，3到5微米分辨率剛好滿足LED驅動芯片需求，某頭部LED企業一次訂了10臺，成本比進口設備低30%。2025年11月更勁爆，上海芯上微裝的350nm步進光刻機發往客戶，這機型支持SiC、GaAs等多種材質基片，能覆蓋射頻芯片生產。

技術突破藏不住了，上海微電子的SSA/800-10W機型，單曝能做28納米，多曝可達11納米。工程師換了本土鏡片后，國產率從50%提到70%，光路對準精度到了亞微米級，還解決了浸沒液控里的氣泡問題。

英諾激光供的光源也給力，120瓦功率支持多圖案工藝，能耗比進口光源低15%。筆者認為，最關鍵的是良率，28納米制程良率達82%，青島產線的曝光均勻度98%，這些都是量產的硬指標。

盟友先扛不住了？

話說回來，美荷日的聯盟本就不牢固。荷蘭2023年貿易依存度150%，GDP一半靠進出口，中國市場丟不起。ASML 2024年上半年在華收入23億歐元，占總收入49%，是實打實的第一大市場。

荷蘭恩智浦也受波及，其汽車芯片在華收入占比從28%降到22%，2024年不得不重啟與中國車企的技術合作，推出適配國產設備的芯片設計方案。荷蘭企業協會2024年調研顯示，83%的半導體設備企業認為對華管制“損害自身利益”，ASML 20%的本土零部件供應商，2023年對華銷售額平均降28%，有3家面臨裁員。

日本企業更難受，尼康2023年全年出貨量跌20%，訂單周期從3個月拖到6個月，只能轉產低精度的i-line機型。佳能2023年上半年轉向東南亞組裝后，物流成本比直接對華出口高了23%，部分低端機型價格競爭力下降，反而被國產設備搶了市場份額。

日本經濟產業省2024年內部報告提到，對華設備出口占比從18%降到12%后，本土廠商研發投入增速從11%掉到5%。彭博社分析，日本技術里美系成分少，和中國互補性強，根本不敢真斷供，2024年日本刻蝕設備對華出口還占12%。

2024年荷蘭先是撤了部分2023年許可證，承認NXT:2050i沒法交付中國，轉頭又為NXT:1970i等型號申請對華出口許可。ASML態度也變軟，前CEO溫寧克說美國限制“不基于數據”，現任CEO傅恪禮在財報會承認，中國EUV光源效率已達3.42%，接近國際水平。

突圍的底氣，從來不是單點突破

很多人覺得光刻機是孤軍奮戰，其實是全產業鏈發力。2023年中國研發投入超3萬億，其中半導體領域投入占比8%，上海微電子單家企業就砸了超百億。

“十四五”規劃還明確半導體設備國產化專項基金規模達500億元，對研發投入的補貼比例最高達20%。上海張江建了“光刻機配套產業園”，聚集20多家零部件企業，讓上海微電子的零部件采購周期從45天縮短到28天，產業鏈協同效率再提一層。

研發投入背后是人才支撐，2023年半導體研發人員增15%，光刻機相關人才增22%，清華、上海交大等10所高校新增“精密光電工程”專業，2024年首批錄取800多人，專門培養光學系統、精密控制人才。

市場需求是最大動力，中國消費全球34%的芯片，2023年集成電路產量3242億件。這么大的盤子，就算高端機暫時跟不上，成熟制程的國產替代也能撐起半邊天。2024年封測自給率達60%，2025年目標70%。

產業鏈協同也很關鍵，比如英諾激光為配合上海微電子，投5億建研發中心，把光源功率從100瓦提到120瓦。芯碁微裝的直寫機在工博會拿了創新獎，能和國產光刻機配套使用。

還有外媒態度的轉變，2023年路透只敢說“突破”，2024年彭博直接承認“低估了中國實力”，2025年南華早報說“本土路徑已清晰”。高盛曾唱衰中國65納米落后20年，現在28納米量產、EUV專利落地，數據打了臉。

總結下來的話，美荷日的封鎖確實帶來短期壓力，但也逼出了長期突破。國產光刻機從封測到前道逐步覆蓋，產業鏈自給率逐年提升。ASML再怎么說“需求回落”，也沒法忽視中國市場的分量。這場技術博弈，中國靠全產業鏈發力和龐大市場，顯然走在了正確的路上。#發優質內容享分成#