2025年深冬,上海微電子(SMEE)的無塵車間里,一臺編號SSA/600的光刻機剛完成1000次連軸測試,良率直接飆到92%!
這數字一傳出,荷蘭ASML總部的緊急會議開足8小時沒歇氣,美國商務部更是連夜加急修改對華半導體管制清單——他們最怕的事,正以火箭般的速度變成真的。
中國高端光刻機2026年量產的時間表已經敲定,這場打破芯片壟斷的硬仗,終于要迎來高光時刻。
光刻機這東西,號稱“半導體皇冠上的明珠”,真不是吹的。一臺EUV光刻機里塞了10萬多個精密零件,得全球5000家供應商聯手才能造出來,技術難度比航天工程還離譜。
這么多年來,高端市場一直被荷蘭ASML、日本佳能尼康攥得死死的,光ASML就靠EUV技術占了84%的份額,說一不二。
為了卡中國芯片的脖子,美日荷干脆組了“封鎖聯盟”,把光刻機變成了對付我們的殺手锏。
2025年荷蘭又加碼狠招,把對華DUV設備的管制從7納米放寬到14納米。
聽著是放寬,實則把ASML的主力機型NXT:1970i、1980i全圈進去了,審批直接拖到90天開外,設備壞了想修?門都沒有。
這還不算完,美國2023年就盯著7納米以下制程下了禁令,日本則同步卡光刻膠等材料的出口,擺明了要從上下游把我們圍死。
最狠的是2024年初,荷蘭突然撕毀設備維護合同,直接導致國內好幾家晶圓廠產能掉了15%,價值800多億美元的設備差點成了廢鐵,這波操作真是夠絕的。
但他們忘了,中國人最不怕的就是封鎖!越卡脖子,我們越能爆發出戰斗力,半導體產業直接拉滿自主攻堅的“進度條”。
2024年上海微電子就放了個大招:28納米光刻機良率沖過90%,自帶的電子束校準系統超給力,性能跟ASML的中端機型掰手腕都不怵。
2025年更炸的消息來了——SMEE已經手握多項EUV核心專利,明說2026年就要小批量交付國產EUV光刻機。
這可不是單點開掛,而是全產業鏈組隊“通關”,光刻機的核心部件,咱們已經逐個攻破了。
先看光刻機的“心臟”。光源系統,以前被美國Cymer公司攥著不放,現在中科院上海光機所的固態激光技術效率干到3.42%,快追上ASML的商用標準了。
哈工大更牛,直接搞定13.5納米極紫外光源,用的“激光誘導放電等離子體”(LDP)技術,比ASML的LPP技術更簡單、更省電,妥妥的降維打擊。
再看被蔡司壟斷的“命門”光學系統,長春光機所旗下的奧普光電把鏡片粗糙度磨到0.2納米,茂萊光學給上海微電子供的勻光模塊,光強均勻性精準到±1%,軍用技術轉民用這波真是太香了,和國際頂尖水平的差距肉眼可見地在縮小。
精密機械這塊,華卓精科直接把ASML的壟斷捅破了,成了全球第二個玩轉雙工件臺的公司,定位精度直接扎進納米級。
核心零件更不用愁:北方華創的離子注入機、中微公司的5納米刻蝕機都已經上產線了,精度細到能輕松穿過頭發絲的五百萬分之一。
之前灣區半導體展上,新凱來一口氣擺了30多款國產設備,刻蝕、薄膜沉積全覆蓋;萬里眼更是甩出全球首款90GHz超高速示波器,性能比國外同類產品直接翻5倍,這實力誰看了不喊一聲“牛”?
全產業鏈這么給力,2026年的量產計劃自然底氣十足。
上海微電子已經把時間表擺出來了:28納米浸沒式DUV光刻機明年開足馬力量產,一年能造50臺;用LDP技術的EUV原型機“Hyperion1”已經擼起袖子試產,2026年三季度就能完成量產驗證。
下游的晶圓廠也沒閑著,中芯國際的28納米產線滿負荷運轉,7納米工藝就差最后一腳;長江存儲、長鑫存儲在存儲芯片領域瘋狂擴產,正好給國產光刻機送來了“練手”的好機會。
更絕的是,我們在半導體材料上還有“王炸”,直接把美日荷的封鎖網撕開了大口子。
全球80%的鎵和鍺都產自中國,光刻機鏡頭拋光用的高純度鈰基拋光粉,90%都得靠我們供貨,一臺高端光刻機要用上10多公斤稀土永磁體,占了電機成本的三成。
他們敢卡我們設備,我們就敢亮材料底牌——鎵、鍺、銻的出口管制說上就上,2025年稀土新規更狠:只要含0.1%以上中國稀土的高科技產品,不管在哪造的,都得我們點頭才能用。有行業大佬算過,荷蘭的稀土庫存撐不過8周,ASML的生產線已經開始慌了。
美日荷最怕的“壟斷崩盤”,真的要來了。
荷蘭新規一出,ASML股價當天就跳水8.2%,全年營收預期直接砍了12%,CEO克里斯托弗·富凱急得喊出“丟了中國市場就丟了未來”——要知道以前中國可是占了他們41%的營收。
日本的JSR公司更慘,中國光刻膠替代一加速,他們2025年在華營收直接掉了三成;荷蘭蔡司一邊被限制出口,一邊被中國企業追著打,高端鏡頭訂單頭一回遇冷,真是腹背受敵。
其實中國光刻機的突破,說白了就是自主創新的勝利。國家“十四五”規劃直接把光刻機列為“急行軍項目”,大基金三期一出手就是930億,全砸在這條產業鏈上。
無數工程師連軸轉搞攻關,三年時間就完成了從“跟跑”到“領跑”的跨越。
我們玩的不是復制粘貼,而是“換道超車”,比如合肥皓宇芯光的桌面級EUV光源系統,體積只有傳統設備的萬分之一,壓根不用看蔡司高端鏡片的臉色,這思路簡直絕了。
2026年的量產計劃,不只是一個簡單的時間點,更是中國芯片“自己說了算”的宣言。
從兩彈一星到北斗導航,從高鐵到航天,中國人從來就不缺打破封鎖的狠勁和腦子。
現在攻光刻機,我們靠的是全產業鏈抱團、多條技術路線一起沖,一點點把美日荷的壟斷墻拆了。
當然我們也不飄,跟ASML最牛的EUV技術比,咱們還有差距,蔡司0.05納米的鏡片精度還是塊硬骨頭,但這差距正在飛速縮小,用不了多久就能追上。
等2026年上海微電子的光刻機正式量產那天,全球半導體產業就得重新排座次了。
美日荷的封鎖終會證明,跟市場規律對著干的打壓,只會逼出中國更強的創新力。
我們搞芯片崛起,不是要把誰擠下去,而是要砸破壟斷,造一個更公平的全球產業鏈。這一天,我們盼了太久,也一定能等到。
來源:新浪財經:國產光刻機與光刻膠雙突破,全球半導體規模首次突破2000億美元(2025.12.02)
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