北京
本報北京1月19日電(記者谷業凱)記者從中核集團獲悉，近日，由中國原子能科學研究院自主研制的中國首臺串列型高能氫離子注入機成功出束，核心指標達到國際先進水平。這標志著中國已全面掌握串列型高能氫離子注入機的全鏈路研發技術，攻克了功率半導體制造鏈關鍵環節，為推動高端制造裝備自主可控、保障產業鏈安全奠定堅實基礎。
離子注入機是半導體制造關鍵設備。原子能院依托在核物理加速器領域數十年的深厚積累，以串列加速器技術作為主要手段，破解一系列難題，掌握了串列型高能氫離子注入機從底層原理到整機集成的正向設計能力，打破了國外企業在該領域的技術封鎖和長期壟斷。此次高能氫離子注入機的成功研制，是核技術與半導體產業深度融合的重要成果，將有力提升中國在功率半導體等關鍵領域的自主保障能力。
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