馬斯克抨擊晶圓廠禁煙，要自建2nm廠，吃漢堡抽雪茄

埃隆?馬斯克本周公開表示，當下芯片制造業的潔凈室建造思路存在根本性誤區。這位特斯拉與太空探索技術公司（SpaceX）的掌門人放言，一旦特斯拉建成可量產 2 納米芯片的晶圓廠，他就要走進廠房，一邊吃芝士漢堡，一邊抽雪茄。

“我認為，現代晶圓廠的潔凈室設計理念從根上就錯了。” 馬斯克在接受《Moonshots》雜志采訪時稱，“我敢打個賭，特斯拉遲早會擁有一座 2 納米制程的晶圓廠，到時候我就能在廠區里啃芝士漢堡、抽雪茄了。”

當被問及他是否已在腦中勾勒出特斯拉晶圓廠的藍圖，以及是否找到辦法避免芝士漢堡的油漬污染硅晶圓時，馬斯克回應稱，晶圓應全程處于密閉隔離狀態。“要讓晶圓始終保持隔絕污染的狀態。” 他如是解釋。

現代晶圓廠是規模龐大的一體化制造基地，核心區域包括：用于晶圓加工的超凈生產潔凈室；安置真空泵、氣體輸送及廢氣排放系統的底層輔助區；專供設備維護與公用設施布設的工具服務廊道；集中式的化學品供給與廢棄物處理設施；以及承擔行政管理、工程研發與生產監控職能的辦公和中控區域。

而潔凈室本身，堪稱是“廠中之廠”—— 它與晶圓廠的其他功能區域完全隔離。潔凈室的潔凈度遵循ISO 等級標準，該標準依據不同粒徑的塵埃顆粒，對單位體積空氣內的顆粒數量做出嚴格限定。例如，ISO 1 級潔凈室要求每立方米空氣中，粒徑≥0.1 微米的顆粒數量不得超過 10 個，更大粒徑的顆粒不得超過 2 個；ISO 2 級潔凈室的限值則為每立方米≤100 個（≥0.1 微米顆粒）和≤38 個（大粒徑顆粒）。像極紫外光刻（EUV）、深紫外光刻（DUV）曝光，以及先進柵極結構制備這類核心制程，均需在 ISO 1 級或 2 級的超凈環境下進行。相比之下，ISO 3 級潔凈室允許每立方米空氣中存在不超過 1000 個≥0.1 微米的顆粒，其潔凈度雖仍遠超晶圓廠的常規區域，但通常僅用于潔凈度要求較低的制程環節。

顯然，在 ISO 1-3 級的潔凈環境中，吸煙或進食漢堡是被明令禁止的，這類行為會產生數億乃至數十億的顆粒物污染。事實上，人類的一次呼吸就會釋放出數百萬個攜帶有水汽的微粒，更遑論還可能引入細菌、病毒等有機污染物。因此，即便晶圓與生產設備的隔離防護做到萬無一失，人體呼吸產生的污染物（更不用說煙霧和食物殘渣顆粒）仍會破壞車間環境，進而影響超高精度的極紫外光刻鏡組，甚至干擾整個晶圓廠的化學制程穩定性。

出于污染控制與安全生產的要求，晶圓廠的其他區域同樣禁止飲食和吸煙。理論上，馬斯克完全可以在辦公區享用漢堡、吞云吐霧—— 即便現在也能做到。只不過，如今大多數辦公樓本身就已全面禁煙。

這并非馬斯克首次炮轟晶圓制造行業。盡管他曾對特斯拉的合作伙伴臺積電（TSMC）與三星晶圓廠贊譽有加，但近幾個月來，他卻頻頻指責該行業工廠建設進度遲緩、產能儲備不足，稱這些問題正拖累其人工智能公司 xAI 的研發進程。馬斯克此前也曾透露，特斯拉或許會考慮自建半導體生產基地，但鑒于這項工程的技術復雜度極高，此事落地的可能性其實微乎其微。此外，從他此番言論來看，其對現代先進制程半導體晶圓廠的運作模式，似乎并不具備專業層面的認知。

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