潔凈廠房微振控制方案

潔凈廠房的微振控制是保障精密設備、儀器正常運行的關鍵環節，直接影響生產工藝精度與產品質量。為規范微振控制設計與實施，結合潔凈廠房使用特性，制定本方案，明確各環節控制要求與技術要點。

一、潔凈廠房整體微振控制設計要點
在具備微振控制需求的潔凈廠房設計階段，需將微振控制要求貫穿結構設計與設備布局全過程，重點關注以下三方面：
1. 結構設計層面，需結合微振控制標準，合理選型廠房結構，科學設置隔振縫，優化壁板與地面、頂棚的連接構造，避免結構傳導振動對潔凈區域造成影響，確保結構本身具備良好的抗振性能。
2. 設備布局與隔振方面，潔凈室及周邊輔助站房內，若存在產生強烈振動的設備及其連接管道，需優先采取主動隔振措施，從振源處削弱振動傳播，降低對潔凈區域的干擾。
3. 振源影響評估方面，需全面排查潔凈廠房內外各類振源，分析其對潔凈室內精密設備、儀器安裝位置的綜合振動影響，通過科學測算確定是否需要采取被動隔振措施，確保振動值符合使用要求。

二、精密設備及儀器容許振動值要求
精密設備、精密儀器儀表的容許振動值，是微振控制設計的核心依據，該數值需由生產工藝部門結合生產精度要求，聯合設備制造部門共同提供，確保數值的準確性與適用性，為后續隔振設計提供可靠標準。
三、被動隔振設計必備條件
對精密設備、精密儀器儀表進行被動隔振設計前，需提前收集完善相關資料，確保設計的科學性與可行性，必備條件如下：
1. 振源影響數據：需獲取周圍各類振源對設備、儀器安裝位置產生的綜合振動數據，明確振動強度、頻率等關鍵參數；
2. 設備基礎資料：包括設備、儀器的型號、規格參數及輪廓尺寸圖，為隔振裝置選型提供依據；
3. 設備力學參數：需掌握設備、儀器的質量、質心位置及質量慣性矩，確保隔振系統受力均衡；
4. 安裝環境資料：涵蓋設備底座外輪廓、附屬裝置、連接管道位置，以及安裝區域坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓與預埋件的具體位置等；
5. 設備安裝要求：明確設備、儀器的調平標準，避免振動導致設備傾斜影響運行精度；
6. 振動控制標準：即設備、儀器的容許振動值，作為隔振設計的核心控制指標；
7. 隔振裝置參數：所選用或設計的隔振器、隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件，確保與設備、安裝環境適配。

四、被動隔振設計核心考量因素
精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計，需結合設備特性與潔凈室環境要求，重點考慮以下內容：
1. 隔振臺座剛度：需根據設備重量、振動要求，合理設計隔振臺座剛度，確保臺座穩定性與抗振性能；
2. 傾斜校正措施：設備、儀器運行過程中，若因質量及質心位置變化導致隔振臺座傾斜，需設計相應的自動或手動校正措施，保障設備水平運行；
3. 隔振系統阻尼要求：隔振系統各向阻尼比需控制在0.15及以上，有效削弱振動傳導，避免共振現象發生；
4. 潔凈環境適配：所采取的隔振措施不得破壞潔凈室內的氣流流型，不得影響潔凈度等級，確保隔振與潔凈要求協同達標。

五、被動隔振措施選用要求
精密設備、精密儀器儀表的被動隔振，優先選用可自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置，該裝置可有效適應設備質心變化，保障隔振效果。同時，供應空氣彈簧的氣源需進行嚴格凈化處理，避免雜質進入隔振裝置，影響設備運行穩定性與隔振性能，確保隔振系統長期可靠運行。