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半導體產業,持續向國內轉移。
21世紀后,受益于智能手機與PC的普及,國內逐步成為代替日韓,成為全球電子制造中心。晶圓廠產能轉移加上國產替代勢頭正盛,產業鏈上游的設備類公司,開始發力了。
這其中,盛美上海成功殺出一方天地!
盛美上海成立于2005年,前身為ACMR公司投資成立的盛美有限。公司是國內清洗設備龍頭,此外,還擁有半導體電鍍設備和其他立式爐管設備、先進濕法封裝設備共三大業務線。
當然,清洗設備仍是公司收入“主力軍”,2024年營收占比超過七成。
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盛美上海自主研發的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術等,可覆蓋約90%-95%的清洗步驟,是全球覆蓋范圍最廣的廠商之一。
不過,清洗設備主要是干嘛的?
半導體清洗設備的作用,說白了就是讓晶圓表面“容不下一粒沙子”。
芯片生產制造過程中的清洗,是針對不同工藝需求,去掉晶圓表面顆粒、自然氧化層和金屬雜污,從而避免部分雜質對產品質量的影響。
從55nm到7nm工藝,制程節點越精細,對污染物控制越高。
光刻、刻蝕、薄膜沉積等工序,前后都需要清洗步驟。通常來說,清洗步驟數量占芯片制造工序的30%以上,20nm制程節點,晶圓清洗步驟在215次。
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預計2025年,全球半導體清洗設備市場規模可達69億美元。客觀來說,相較于薄膜沉積、刻蝕設備,清洗設備國產化率更高,整體價值量也偏低。
不過,盛美上海盈利能力,多年來一直在北方華創與中微公司之上。
盛美上海毛利率常年超過45%,2025上半年達到50.73%,比中微公司高出約11個百分點,也明顯高出北方華創。
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這是為什么?
核心原因在于產品高端化。
盛美上海做的是高端清洗設備,公司單片槽式組合清洗設備,已完成邏輯芯片40nm及28nm技術節點產線驗證,可用于20步及以上的高溫磷酸/硫酸清洗步驟。
2025年中報里更是直接表明,國內競爭對手與國外巨頭,暫不具備此類產品,可見其技術自信。
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(數據來源:盛美上海2025年中報)
其實,盛美上海的高盈利能力,有跡可循。
管理層技術出身的上市公司很常見,而像盛美上海一樣,公司成立多年以后,創始人現在還扎根研發之中的企業,并不常見。
盛美上海創始人兼董事長王暉,1978年考入清華大學精密儀器系,后面發明多陽極局部電鍍銅、無應力銅拋光技術及工藝,目前仍是公司研發團隊核心;總經理王堅參與申請發明專利100多項,負責多個重大科研項目。
管理層的科研背景,一開始就在公司體內植入了研發基因,近些年,盛美上海研發費用率基本保持在14%以上。
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強悍的研發實力,不允許盛美上海低調。
盛美上海是國內唯一一個,清洗設備大批量進入SK海力士生產線的公司。國內長江存儲、中芯國際、華虹集團、合晶科技等公司,同為盛美上海客戶。
反觀其他公司,北方華創、芯源微和至純科技的清洗設備,仍以對接國內晶圓廠和顯示面板廠為主。
綜合來看,盛美上海布局高端單片濕法清洗工藝,晶圓良率保障更高,在國內清洗設備市場中占據領先地位;北方華創以槽式清洗設備見長,正向單片清洗技術延伸,是公司有力競爭對手。芯源微與至純科技的技術覆蓋范圍與市占率,低于盛美上海。
2023年盛美上海占據全球半導體清洗設備7%市場份額,排在全球第四。
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產品技術得到海力士背書,近年來公司訂單水漲船高。盛美上海公告顯示,截至2025年9月底,公司在手訂單達到90.72億元。與此同時,2025年第一季度公司合同負債已經飆升至12.28億。
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2025上半年,盛美上海實現營收32.65億,同比增長35.83%,實現凈利潤6.96億,同比大增56.99%,充沛訂單量為公司業績保駕護航。
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2025年7月,盛美上海發行公告,擬向特定對象發行股票募資44.8億元,用于平臺建設、半導體設備研發和補充流動資金。
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(數據來源:2025年7月盛美上海公告)
9月份這部分資金已經籌集完畢,實際募資凈額為44.35億元,財通基金、諾德基金、易方達、華泰資產管理等公司的身影,都在其中。
積極募資背后的原因,是盛美上海正在積極轉型,回過頭看,公司戰略布局可分為三個階段。
2021年以前為第一階段,此時公司專攻清洗設備,向電鍍設備延伸。
2021-2024年為第二階段,在前兩種產品的基礎上,盛美上海2022年成功將立式爐管ALD設備推向國內兩家關鍵客戶。順利交付前道ArF工藝涂膠顯影設備,產品布局再次拓寬。
2024年以后為第三階段,盛美上海正式開啟平臺化轉型之路。
清洗設備國產化率接近60%,國內市場天花板隱現。公司想要擴大營收規模,則要向其他環節的半導體設備布局。北方華創、中微公司已經在刻蝕和薄膜沉積領域,打出市場知名度。盛美上海避開關鍵對手,準備選擇在封裝設備、涂膠顯影等領域大干一場。
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募集說明書中披露,公司近期推出3款面板先進封裝設備,聚焦于未來大尺寸AI芯片封裝。2024年第三季度,實現了PECVD(等離子化學氣相沉積)設備的交付。
此次充沛的募資額,將幫助公司完善“清洗+電鍍+先進封裝濕法+立式爐管+涂膠顯影+PECVD”的業務版圖。
最后,總結一下。
憑借對高端化清洗設備的布局,盛美上海獲得比北方華創、中微公司更加強悍的盈利能力。
2025年9月,公司再次募集44億元資金,以期將業務觸手延伸至封測、涂膠顯影和PECVD等設備。盛美上海自成立以來就流淌著,公司能否成功轉型平臺化龍頭,我們拭目以待。
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