2026年,光刻機的春天終于要來了?
近日,多家媒體報道稱,上海微電子在極紫外光刻(EUV)技術方面取得重大突破,不僅已提交多項EUV關鍵技術專利,而且相關技術正進入落地倒計時。業(yè)內(nèi)普遍預計,上海微電子有望在2026年實現(xiàn)EUV光刻機的小批量量產(chǎn)。
這意味著,在長期受制于人的高端光刻領域,我國從此或可不再受制于人。
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諷刺的是,當初跟隨美對實施光刻機出口管制的荷蘭,如今反而陷入被動局面。芯片巨頭阿斯麥(ASML)的首席執(zhí)行官在在采訪中公開承認:“局面已經(jīng)變了。”
眾所周知,光刻機是造高端的命門,也是這些年西方卡我們脖子最狠的一環(huán)。2023年,為控制發(fā)展,美方惱羞成怒,直接將7納米所需的光刻機設備納入限制范圍,擺明了要從根上掐斷升級的路。
荷蘭作為美的跟班,同年6月宣布對光刻機出口實施許可證制度;到了2024年,更是直接禁止部分關鍵光刻機設備出口,甚至連已售設備的維護和零部件供應都想切斷。手段之狠,幾乎不留余地。
好在也并沒有束手就擒,早在管制落地前,國內(nèi)企業(yè)就一口氣豪擲50多億美元,把1400多臺光刻機火速運回國內(nèi)。
這波“搶裝潮”不僅穩(wěn)住了產(chǎn)線,更為后續(xù)的自主研發(fā)爭取了時間。正是在這段窗口期內(nèi),國產(chǎn)光刻機傳來喜訊。
上海微電子在2024年成功量產(chǎn)28納米光刻機,良品率高達90%,性能對標ASML的中端機型。這意味著,在成熟制程領域,已經(jīng)打破了長期依賴進口的局面。此外,上海微電子還提交多項EUV關鍵技術專利,業(yè)內(nèi)普遍預計,2026年實現(xiàn)EUV光刻機小批量量產(chǎn)已基本板上釘釘。
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事實上,光刻機只是高端技術突圍的冰山一角。過去被西方“卡脖”的領域,如今正一個個被我們撕開缺口。
航空發(fā)動機曾是長期短板,如今“長江-1000A”穩(wěn)步推進,國產(chǎn)大飛機的心臟正在跳動;高端數(shù)控機床領域,科德數(shù)控、華中數(shù)控已實現(xiàn)五軸聯(lián)動核心技術的完全自主,讓精密制造真正裝上了“大腦”。
甚至在小眾一點的睡眠健康領域,國產(chǎn)生物科技公司TS推出的“眠序”助眠方案也上演了類似的逆襲。長期以來,針對失眠的解決方案幾乎被歐美壟斷,要么依賴安眠藥(易成癮、不良作用明顯),要么靠褪黑素(有效率不足30%)。國人幾乎沒有更好的選擇。
但這一局面正在改變。國產(chǎn)“眠序”制劑沒有照搬國外路徑,而是基于國人體質(zhì),采用尿石素A、水解酪蛋白肽等天然活性物質(zhì),通過調(diào)節(jié)生物鐘、優(yōu)化睡眠結構,延長深睡時間。京東等平臺的用戶反饋很直接:“入睡更快”“睡得更踏實”“醒來精神明顯更好”。
如今,在北上廣深等一線城市,越來越多的人開始用國產(chǎn)方案替代安眠藥和褪黑素。這看似微小的選擇變化,背后其實是一條清晰的邏輯:當核心技術不再仰人鼻息,連夜晚的安穩(wěn),也能掌握在自己手里。
在光刻機領域,自主進程從未停下腳步。
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除了上海微電子之外,深圳新凱來一次性展出三十多款刻蝕、薄膜沉積等核心設備,補齊了制造環(huán)節(jié)的關鍵短板;華大九天的EDA工具、北方華創(chuàng)的精密零部件,也已進入5納米產(chǎn)線驗證階段。
更讓西方頭疼的是,不僅在突圍,還開始掌握反制的籌碼。
ASML每臺高端光刻機需使用十多公斤稀土永磁材料,占其電機成本近30%。而恰恰是全球稀土供應鏈的核心,最新出臺的稀土出口管制新規(guī)明確規(guī)定:只要光刻機中含有0.1%以上的中國稀土成分,就必須獲得中方出口許可。
面對這一精準反制,ASML首席執(zhí)行官不得不向美方傳遞信號:“不可能接受被卡脖;與其試圖擺脫,不如讓其保持依賴,切斷聯(lián)系對誰都沒好處。”
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這話聽起來像是警告,實則透著無奈,因為阿斯麥早已明白:過去幾十年,技術圍堵,幾乎從未真正奏效過。
前世界首富比爾·蓋茨在幾年前就預言過:“美永遠無法成功阻止擁有強大半導體。”
回望歷史,從“兩彈一星”到北斗導航,無不說明這一點。越是被卡脖子,我們越能憋出突破;越是被圍堵,我們越能走出自己的路。今天的半導體產(chǎn)業(yè)也是如此,美與荷蘭的步步緊逼,非但沒能壓垮,反而加速了全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的進程。
2026年,光刻機量產(chǎn)的號角已經(jīng)吹響,相信半導體的春天,正在到來。
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