濺射靶材貨物名稱、商品歸類及其對出口管制之影響

摘要：進(jìn)出口稅則“濺射靶材”品名和相應(yīng)稅則號列的設(shè)立，是我國“濺射靶材”行業(yè)發(fā)展的重要標(biāo)志，而“濺射靶材”行業(yè)發(fā)展也推動著商品歸類的新認(rèn)知、新思路。本文就其“濺射靶材”的商品歸類及其對出口許可、出口管制的影響作一深入探討。

關(guān)鍵詞：濺射靶材商品歸類出口管制

前言

國務(wù)院關(guān)稅稅則委員會于2011年12月9日發(fā)布了《關(guān)于2012年關(guān)稅實施方案的通知》（稅委會〔2011〕27號）（以下簡稱《2012年關(guān)稅實施方案》），該《2012年關(guān)稅實施方案》設(shè)立了“帶背板的濺射靶材組件”這一稅則品名，并為該品名設(shè)定了8486.9091這一獨(dú)立的8位稅列號列，這一做法適應(yīng)了我國高性能濺射靶材行業(yè)的發(fā)展需要。從此，我國濺射靶材行業(yè)及產(chǎn)品有了統(tǒng)一的“國際貿(mào)易通行語言”，為其順利出口走向國際市場奠定了基礎(chǔ)。同時，隨著加工技術(shù)的成熟、加工工藝的提升，在進(jìn)出口貿(mào)易實踐中，濺射靶材的商品歸類也在出現(xiàn)令人欣喜的新變化。有的執(zhí)法部門適應(yīng)此變化，作出有利于企業(yè)發(fā)展、行業(yè)進(jìn)步的舉措；有的卻與新的變化格格不入并視為洪水猛獸，僵硬地執(zhí)法，造成難以挽回的重大損失。

一、濺射靶材行業(yè)發(fā)展：技術(shù)更新下的高性能濺射靶材

濺射靶材（英文名稱：Target，簡稱靶材）要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高，一般要求如，尺寸、平整度、純度、各項雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制；較高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成分與組織均勻性、異物（氧化物）含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式，就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。靶材的原材料有金屬，合金，陶瓷化合物等。

靶材于20世紀(jì)70年代率先在國外起步，我國直至2003年才開始引進(jìn)國外相關(guān)技術(shù)與設(shè)備。作為顛覆傳統(tǒng)高污染電鍍行業(yè)的新興朝陽產(chǎn)業(yè)，靶材行業(yè)雖發(fā)展迅速，但初期國內(nèi)僅能試制成功單一金屬靶材，二元及多元金屬靶材的技術(shù)瓶頸始終未能突破。在此一背景下，國內(nèi)靶材出現(xiàn)了多極分化，有的企業(yè)通過引進(jìn)技術(shù)、技術(shù)攻關(guān)，投入大量人力物力，克服了各項技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)了一體化的靶材，還有的企業(yè)技術(shù)不過關(guān)，仍然生產(chǎn)并出口技術(shù)含量低的單金屬裸靶，以及傳統(tǒng)的“帶背板的濺射靶材組件”。

除了無背板結(jié)構(gòu)單金屬裸靶外，無論是“帶背板的濺射靶材組件”，還是“靶材和背板一體化的濺射靶材”都是鍍膜設(shè)備的專用陰極，待鍍膜工件為設(shè)備陽極。鍍膜機(jī)工作原理為：在真空環(huán)境中，借助強(qiáng)電場對氬原子進(jìn)行電離與加速，使其成為高動能粒子，這些粒子轟擊靶材表面，促使靶材表面氣化（行業(yè)內(nèi)簡稱“粒子加速”）；汽化后的原子在磁場作用下精準(zhǔn)沉積到工件表面，形成微米級厚度的薄膜。

靶材為專用設(shè)備定制零件，需根據(jù)特定鍍膜設(shè)備要求生產(chǎn)，目前主要應(yīng)用于三大類專用鍍膜設(shè)備：1.半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)；2.光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備；3.粒子加速器鍍膜機(jī)。其中，粒子加速器鍍膜機(jī)涵蓋范圍較廣，既包含電泳設(shè)備（低端），也涵蓋半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)、光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備，還包括更高端的粒子射頻儀；其名稱直觀體現(xiàn)了靶材的核心工作原理。

二、靶材的商品歸類

根據(jù)以上描述，依據(jù)技術(shù)含量、生產(chǎn)工藝、加工程度等的不同，靶材的商品歸類分別如下：

（一）單金屬裸靶。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金，而單金屬裸靶是由單一金屬制成的靶材半制成品，無背板結(jié)構(gòu)，不具備與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。單金屬裸靶不具有直接裝配于濺射機(jī)的功能，根據(jù)《2012年關(guān)稅實施方案》，“單金屬裸靶無背板結(jié)構(gòu)按原材料歸類”，即如果原材料是鉻的，按《中華人民共和國進(jìn)出口稅則》（以下簡稱《稅則》）第81章品目8112鉻制品歸類，歸入該品目8112稅號的鉻制品是需要辦理出口許可證的。

（二）帶背板的濺射靶材組件。該種靶材由裸靶和支撐背板兩部分組成，背板與裸靶通過焊接連接為一體。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金，通過特殊的熱機(jī)械處理和精密機(jī)械加工制造而成，背板通常帶有與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。因為該靶材具備了上述加工特征，可以直接裝配于濺射機(jī)作為設(shè)備陰極使用，為此，《2012年關(guān)稅實施方案》為這一新產(chǎn)品確定了品名“帶背板的濺射靶材組件”、設(shè)立了稅則號列“8486.9091”，并出臺了本國子目注釋，見《2012年關(guān)稅實施方案》附件8“進(jìn)出口稅則稅目調(diào)整表”。

（三）靶材和背板一體化的濺射靶材。既不同于單金屬裸靶，也不同于帶背板的濺射靶材組件，靶材和背板一體化的濺射靶材是在帶背板的濺射靶材組件基礎(chǔ)上技術(shù)升級，是由單一材料構(gòu)成的裸靶、背板、裝配同質(zhì)一體化結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積設(shè)備的陰極部分。該狀態(tài)已具備定位突起、卡環(huán)、連接螺紋等安裝支撐結(jié)構(gòu)，已具備設(shè)備零件特征。因而，在有的企業(yè)的積極努力下，爭取到了對企業(yè)有利的、且符合行業(yè)發(fā)展規(guī)律和產(chǎn)品特性的稅則號列8486.9099。

三、靶材歸入稅則號列8486.90的法律依據(jù)

靶材是鍍膜設(shè)備的專用陰極，待鍍膜工件為設(shè)備陽極。鍍膜機(jī)工作原理為：在真空環(huán)境中，借助強(qiáng)電場對氬原子進(jìn)行電離與加速，使其成為高動能粒子，這些粒子轟擊靶材表面，促使靶材表面氣化（行業(yè)內(nèi)簡稱“粒子加速”）；汽化后的原子在磁場作用下精準(zhǔn)沉積到工件表面，形成微米級厚度的薄膜。

根據(jù)《關(guān)稅法》第九條，關(guān)稅稅目由稅則號列和目錄條文等組成。關(guān)稅稅目適用規(guī)則包括歸類規(guī)則等。進(jìn)出口貨物的商品歸類，應(yīng)當(dāng)按照《稅則》規(guī)定的目錄條文和歸類總規(guī)則、類注、章注、子目注釋、本國子目注釋，以及其他歸類注釋確定，并歸入相應(yīng)的稅則號列。據(jù)此，就支持靶材歸入稅則號列8486.90的相關(guān)依據(jù)，我們逐一作列明并分析：

（一）《稅則》規(guī)定的目錄條文。如前所述，《2012年關(guān)稅實施方案》已將《稅則》進(jìn)行調(diào)整，增列了稅目：稅則號列為“8486.9091”，目錄條文為“帶背板的濺射靶材組件”。因而，帶背板的濺射靶材組件歸入稅則號列8486.9091。

此外，引用《稅則》以下目錄條文：

38.24之目錄條文：“38.24 鑄模及鑄芯用粘合劑；其他稅目未列名的化學(xué)工業(yè)及其相關(guān)工業(yè)的化學(xué)產(chǎn)品及配制品（包括由天然產(chǎn)品混合組成的）。”

84.86之目錄條文：“專用于或主要用于制造半導(dǎo)體單晶柱或晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路或平板顯示器的機(jī)器及裝置；本章注釋十一（三）規(guī)定的機(jī)器及裝置；零件及附件?！?/p>

（二）歸類總規(guī)則。歸類總規(guī)則在《稅則》中明文列明，其分為規(guī)則一、規(guī)則二、規(guī)則三、規(guī)則四、規(guī)則五、規(guī)則六，從規(guī)則一到規(guī)則六依次適用。貨品在《稅則》目錄上的歸類，應(yīng)遵循這六項原則。其中，規(guī)則一規(guī)定：“類、章及分章的標(biāo)題，僅為查找方便而設(shè)；具有法律效力的歸類，應(yīng)按稅目條文和有關(guān)類注或章注確定，如稅目、類注或章注無其他規(guī)定，按以下規(guī)則確定?！彼Q“以下規(guī)則”指規(guī)則二至規(guī)則六。

1.帶背板的濺射靶材組件。因歸類總規(guī)則本身為《稅則》的一部分，因而，與上述（一）形成印證：目錄條文為“帶背板的濺射靶材組件”有明文規(guī)定的，依此規(guī)定確定，稅號為“8486.9091”。

2.靶材和背板一體化的濺射靶材。因目錄條文無明文規(guī)定，于是依次看規(guī)則二至規(guī)則五，均不能適用，而根據(jù)規(guī)則六“貨品在某一稅目項下各子目的法定歸類，應(yīng)按子目條文或有關(guān)的子目注釋以及以上各條規(guī)則來確定，但子目的比較只能在同一數(shù)級上進(jìn)行。除本稅則目錄條文另有規(guī)定的以外，有關(guān)的類注、章注也適用于本規(guī)則”，靶材和背板一體化的濺射靶材應(yīng)當(dāng)歸入稅則號列“8486.9099”。

（三）類注、章注。靶材涉及在《稅則》第六類“化學(xué)工業(yè)及其相關(guān)工業(yè)的產(chǎn)品”之第三十八章“雜項化學(xué)產(chǎn)品”、第十六類“機(jī)器、機(jī)械器具、電氣設(shè)備及其零件；錄音機(jī)及放聲機(jī)、電視圖像、聲音的錄制和重放設(shè)備及其零件、附件”之第八十四章“核反應(yīng)堆、鍋爐、機(jī)器、機(jī)械器具及其零件”。

1.歸入品目3842。其根據(jù)是《稅則》第六類類注三：“由兩種或兩種以上單獨(dú)成分配套的貨品，其部分或全部成分屬于本類范圍以內(nèi)，混合后則構(gòu)成第六類或第七類的貨品，應(yīng)按混合后產(chǎn)品歸入相應(yīng)的稅目，但其組成成分必須同時符合下列條件：（一）其包裝形式足以表明這些成分不需經(jīng)過改裝就可一起使用的；（二）一起進(jìn)口或出口的；（三）這些成分的屬性及相互比例足以表明是相互配用的?！?/p>

2.歸入品目8486。其根據(jù)是《稅則》第十六類注二：“除本類注釋一、第八十四章注釋一及第八十五章注釋一另有規(guī)定的以外，機(jī)器零件（不屬于稅目84.84、85.44、85.45、85.46或85.47所列物品的零件）應(yīng)按下列規(guī)定歸類：（一）凡在第八十四章、第八十五章的稅目（稅目84.09、84.31、84.48、84.66、84.73、84.87、85.03、85.22、85.29、85.38及85.48除外）列名的貨品，均應(yīng)歸入該兩章的相應(yīng)稅目；……”而“帶背板的濺射靶材組件”在品目8486項下有明文規(guī)定。

此外，其根據(jù)還有，《稅則》第八十四章章注第十一第（四）項：“除第十六類注釋一和第八十四章注釋一另有規(guī)定的以外，符合稅目84.86規(guī)定的機(jī)器及裝置應(yīng)歸入該稅目而不歸入本目錄的其他稅目?！?/p>

（四）子目注釋。涉靶材的沒有子目注釋。

（五）本國子目注釋。涉靶材的本國子目注釋如下：“濺射靶材組件由裸靶和支撐背板兩部分組成，背板與裸靶通過焊接連接為一體。裸靶原材料通常為高純金屬或金屬合金，通過特殊的熱機(jī)械處理和精密機(jī)械加工制造而成，背板通常帶有與濺射機(jī)配合的連接孔、定位突起或卡環(huán)、卡口等結(jié)構(gòu)。單金屬裸靶無背板結(jié)構(gòu)按原材料歸類?！?/p>

（六）其他歸類注釋：《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》。

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類總注釋第二部分：

“零件（本類注釋二）一般來說，除上述第一部分所列不歸入本類的貨品以外，凡明顯專用于或主要用于某種機(jī)器或裝置（包括品目84.79或85.43所列物品），或同一品目所列同類機(jī)器或裝置的零件，均應(yīng)與有關(guān)機(jī)器或裝置一并歸類?！薄皺C(jī)器零件不論是否制成成品，即可使用，均應(yīng)歸入本類?！?/p>

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類之84.86品目注釋二“制造半導(dǎo)體器件或集成電路用的機(jī)器及裝置”之（一）3：

“3．物理氣相沉積（PVD）設(shè)備，用以將汽化固體物所得到的各種薄膜加以沉積。例如：（1）蒸發(fā)設(shè)備，通過加熱源材料產(chǎn)生薄膜。（2）濺射設(shè)備，利用離子對源材料（靶材）進(jìn)行轟擊產(chǎn)生薄膜?！?/p>

靶材所使用到的設(shè)備就是上述所稱之“物理氣相沉積（PVD）設(shè)備”，其具體運(yùn)用就是“濺射設(shè)備，利用離子對源材料（靶材）進(jìn)行轟擊產(chǎn)生薄膜。”

《進(jìn)出口稅則商品與品目注釋》第十六類之84.86品目注釋“五、零件及附件”：

“除零件的歸類總原則另有規(guī)定的以外（參見第十六類總注釋），本品目包括本品目所列機(jī)器及裝置的零件及附件。因此，歸入本品目的零件及附件主要包括專用于或主要用于本品目所列機(jī)器及裝置的工件或工具夾具及其他專用配件?！?/p>

四、企業(yè)出口貨物實踐中靶材商品歸類之不同申報

靶材為專用設(shè)備定制零件，需根據(jù)特定鍍膜設(shè)備要求生產(chǎn)，企業(yè)在出口靶材過程中，由于各企業(yè)技術(shù)能力不同，客戶定制要求不同，運(yùn)用設(shè)備不同，因而，申報的商品歸類也不同，目前主要應(yīng)用于三大類專用鍍膜設(shè)備，視其不同而不同：

（一）運(yùn)用于半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)，歸入的稅則號列為848690：靶材作為陰極參與導(dǎo)電鍍膜，主要用于芯片內(nèi)部互連線路、平板顯示、太陽能電池及信息存儲等場景。這一歸類使用的比較多，應(yīng)用也比較廣泛，其主要依據(jù)見上文第二部分。

（二）運(yùn)用于光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備，歸入的稅則號列為847990：靶材作為陰極參與鍍膜，形成的薄膜可實現(xiàn)光的反射或透過，最終達(dá)成曝光及圖案轉(zhuǎn)移功能。

（三）運(yùn)用于粒子加速器鍍膜機(jī)，歸入的稅則號列為854390）：該類設(shè)備涵蓋范圍較廣，既包含電泳設(shè)備（低端），也涵蓋半導(dǎo)體和集成電路鍍膜機(jī)、光刻機(jī)鍍膜用設(shè)備，還包括更高端的粒子射頻儀；其名稱直觀體現(xiàn)了靶材的核心工作原理。我國企業(yè)有申報此稅則號列。此外，20多年前美國海關(guān)就對靶材進(jìn)行歸類裁定，將其歸入8543稅號。

五、靶材商品歸類與出口許可證及出口管制出口許可證之關(guān)系

由于無論是《2012年關(guān)稅實施方案》，還是《稅則》，甚至海關(guān)商品歸類執(zhí)法實踐，將靶材之稅則號列歸入子目8486.90，因而，對于出口許可及出口管制都會帶來一定的影響，從依法行政的角度，就是貫徹法律、行政法規(guī)的規(guī)定，遵守出口許可證、出口管制出口許可證的自身規(guī)律，該申請辦理就申請辦理，不屬于出口許可管理、出口管制的物項就不用申請辦理出口許可證、兩用物項和技術(shù)進(jìn)口許可證。

（一）出口許可證

根據(jù)《貨物出口許可證管理辦法》，“國家實行統(tǒng)一的貨物出口許可證制度。國家對限制出口的貨物實行出口許可證管理?！薄吧虅?wù)部會同海關(guān)總署制定、調(diào)整和發(fā)布年度《出口許可證管理貨物目錄》?！币蚨?，對于出口許可證管理，我國實行的是目錄管理，在目錄外的，不實行出口許可證管理。我國每年度都由商務(wù)部、海關(guān)總署發(fā)布《出口許可證管理貨物目錄》，在該目錄里，有明確的貨物種類、海關(guān)商品編號、貨物名稱、計量單位。例如金屬鉻，在《出口許可證管理貨物目錄》里有三項，一是商品編號為8112210000的未鍛軋鉻、鉻粉末，二是商品編號為8112220000的鉻廢碎料，三是商品編號為8112290000的其他鉻及其制品。雖然“出口許可證管理范圍以貨物種類及貨物名稱為準(zhǔn)，海關(guān)商品編號供通關(guān)申報參考。”但是在《出口許可證管理貨物目錄》商品編號與貨物名稱是一一對應(yīng)關(guān)系：歸入的商品編號準(zhǔn)確地反映了該貨物的實際狀態(tài)，反過來亦然，

例如，商品編號為8112210000的未鍛軋鉻、鉻粉末就是這樣的一一對應(yīng)關(guān)系。凡貨物名稱不在該目錄里的或是商品編號不在該目錄里的，均不屬于出口許可證管理范圍。進(jìn)一步地，由上述三項鉻制成了靶材，即經(jīng)過進(jìn)一步加工變成了設(shè)備的陰極，這里靶材已列入法定的稅則號列，有具體的貨物名稱，歸入子目8486.90，該稅則號列以及該稅則號列對應(yīng)的貨物名稱均不在《出口許可證管理貨物目錄》內(nèi)，因而，無需辦理出口許可證。

（二）兩用物項和技術(shù)出口許可證

兩用物項和技術(shù)出口許可證屬于出口管制類別的出口許可證，不同于上述（一）出口許可證。根據(jù)《兩用物項出口管制條例》，“國務(wù)院商務(wù)主管部門依據(jù)出口管制法和本條例的規(guī)定，根據(jù)兩用物項出口管制政策，按照規(guī)定程序會同國家有關(guān)部門制定、調(diào)整兩用物項出口管制清單，并及時公布?！薄皣覍捎梦镯椀某隹趯嵭性S可制度。出口兩用物項出口管制清單所列兩用物項或者實施臨時管制的兩用物項，出口經(jīng)營者應(yīng)當(dāng)向國務(wù)院商務(wù)主管部門申請許可?！备鶕?jù)《出口管制法》，我國對于兩用物項實行出口許可制度，如在兩用物項出口管制清單內(nèi)的，一律須申請辦理兩用物項和技術(shù)出口許可證。

如金屬釔及其制品，根據(jù)2025年4月4日實施的商務(wù)部、海關(guān)總署公告2025年第18號（公布對部分中重稀土相關(guān)物項實施出口管制的決定），其中第七條“釔相關(guān)物項管制”第（一）項是“1C908.a金屬釔、含釔的合金及相關(guān)制品”，具體包括：“1.金屬釔（參考海關(guān)商品編號：2805301700）。2.含釔的合金：a.釔鋁合金；b.釔鎂合金；c.釔鎳合金；d.釔銅合金；e.釔鐵合金。3.含釔的靶材（參考海關(guān)商品編號：3824999922、8486909110）：a.釔靶；b.釔鋁合金靶；c.釔鋯合金靶。”該公告將含釔的靶材列入管制范圍，并將其歸類為子目848690項下的商品編號。這一方面說明，兩用物項管制清單為國家實行兩用物項管制之法律依據(jù)，即以清單為準(zhǔn)，不在清單內(nèi)的（除臨時管制、《出口管制法》第十二條第三款規(guī)定以外），不實行管制；另一方面也說明，將靶材商品歸類確定為子目8486.90項下是有法律依據(jù)的，主管部門也予以認(rèn)可。

結(jié)束語

進(jìn)出口貨物的商品歸類，應(yīng)當(dāng)按照《進(jìn)出口稅則》規(guī)定的目錄條文和歸類總規(guī)則、類注、章注、子目注釋、本國子目注釋，以及其他歸類注釋確定，并歸入相應(yīng)的稅則號列。在進(jìn)出口貿(mào)易中，商品歸類是十分復(fù)雜的話題，爭議也最多，有時是公說公有理，婆說婆有理。對此，海關(guān)妥當(dāng)而合適的做法是依法辦事，聽取企業(yè)意見，正視企業(yè)呼聲，認(rèn)真接納行業(yè)發(fā)展，與企業(yè)一同推動商品歸類的調(diào)整與變化。而不是一味地，從自己的角度去給不認(rèn)同、不服從海關(guān)的企業(yè)下違法的結(jié)論甚至冠以走私的罪名。

本文作者：上海蘭迪（深圳）律師事務(wù)所主任 孫國東律師