國產首臺！凌光紅外激光誘導電阻變化顯微鏡（OBIRCH）重磅發布！

本期快訊

凌光紅外發布商用激光誘導電阻變化設備（LaserSight系列），完成國產電性失效分析設備Thermal/EMMI/Obirch（TIVA）全系列通車！

OBIRCH是什么？

OBIRCH（Optical Beam Induced Resistance Change，同類技術還有TIVA等），中文常用名激光誘導電阻變化，是除了熱發射（Thermal Emission）和光發射（Photon Emission）以外最常用的電性失效分析技術，和EMMI/THERMAL并列為電性失效分析行業三大標準定位手段。

激光誘導電阻變化設備的歷史

首臺商業化OBIRCH設備（μA***-200）在1997年由日本HA**公司發布。在過去二十多年中，OBIRCH技術和其所對應的設備被個位數的國外廠商壟斷，包括：日本HA**公司，美國FE*公司，新加坡S*公司和美國QF*公司。其中日本H公司和美國F公司憑借產品硬實力占據了此設備80%以上的銷售份額。可以說激光誘導電阻變化設備是一款典型的卡脖子設備。

今天，凌光紅外正式發布 LaserSight系列機型，向客戶提供激光誘導電阻變化定位技術和設備，實現了國產激光誘導電阻定位設備從無到有。截止至25年12月，凌光紅外已完成多臺LaserSight系列銷售和交付，設備運轉順利，性能對標進口旗艦設備。

OBIRCH設備外觀

OBIRCH設備內部

OBIRCH機臺正在工作

其中，LaserSight 100核心參數如下：

LaserSight 100核心參數圖

相比InGaAs和Thermo，LaserSight系列適用于： 金屬互聯引起的缺陷，金屬/半導體短路等工作場景，適用于IC，功率器件，光電器件等。

LaserSight的工作流程

LaserSight的工作流程如下

1)激光掃描芯片表面產生局部加熱

2)缺陷區域因熱傳導異常導致電阻變化ΔR

3)通過ΔI=(ΔR/R)I關系檢測電流變化

4)影像疊加定位缺陷。

LaserSight的工作流程

秉持著設計一流設備的理念，LaserSight 100在發布前與進口旗艦設備進行了較為全面的性能對比，部分結果如下（圖）：

與進口旗艦設備進行了較為全面的性能對比圖

可以看到，LaserSight 100在圖像質量，微弱熱點檢測上都具備較強能力。至此，從2022年1月公司成立以來，凌光紅外已經完成了Thermal/EMMI/Obirch三大電性失效分析品類基礎款的全部研發和商用化交付。在未來，凌光紅外將繼續努力，不斷優化設備和產能，向世界一流設備看齊，為中國電性失效分析貢獻自己的力量！

下一個目標

InGaAs/Obirch二合一系列

2026年讓我們敬請期待！

參與“InGaAs/Obirch二合一”設備

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